[发明专利]清洗液组成物

说明书

技术领域

本发明是关于一种清洗液的组成物，是用于清洗玻璃基板表面，尤其指一种高浓度清洗液的组成物，其可运用在平面显示器的领域上。

背景技术

近年来，液晶电视或等离子体电视为代表的平面显示器，于面板尺寸的大型化或高精细化进展中，对工艺中的面板表面清洁度的要求愈来愈高，一般在平面显示器工艺中，玻璃基板的表面洁净度将影响后续工艺良率，故使用清洗液来提高及稳定玻璃基板表面的洁净度将是重要关键。因此，将基板表面上的油污或微粒等异物充分地清洗掉的要求亦愈趋严格。

近年开发的清洗液组合物，例如是日本专利第平7-305093号及日本专利早期公开第2001-181699号所述。然而，其专利文献中所记载的清洗液组合物的清洗性，对于目前清洗剂必须具有可在短时间内洗净玻璃基板的高度洗净能力而言，其表面洁净度质量并不能被接受。

碱性清洗液中所使用的碱性化合物一般有分为无机碱及有机碱两大类，一般无机碱可为氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠以及碳酸氢钠等，一般有机碱可为氢氧化四甲铵或烷醇胺等碱性化合物，都被广泛使用于清洗液中。

常用的玻璃基板清洗方法有超音波振荡、利用旋转器等进行的旋转清洗、摆动清洗、毛刷清洗等周知的清洗方法及技术。

故目前的碱性清洗液的趋势，除了碱性化合物外，还含有用于增强其清洁力的界面活性剂。目前业界较常使用且具有卓越清洁力的非离子界面活性剂，为环氧烷基类界面活性剂。为了达到最大的清洁力，除了单一的环氧烷基类界面活性剂，还会使用复数种类的环氧烷基类界面活性剂的混合物，其中包括摩尔数不同的环氧烷基、及不同的环氧烷基，如环氧乙烷或环氧丙烷等，以达到使用时产生泡沫较少、清洗作业性优异、低表面残留等特性。

一般而言，玻璃基板的表面脏污，极易响光阻剂的涂布，造成光阻剂附着不良，或于曝光过程中影响图案制作，进而导致良率下降等问题。因此，目前极需一种清洗液组成物以解决前述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种清洗液组成物，以满足使用上的需求。

为实现上述目的，本发明提供的清洗液组成物，是通过添加如下式结构式(I)的界面活性剂于清洗液组成物中，以改善玻璃基板的表面脏污，使玻璃基板表面质量稳定，提升工艺良率。

式(I)

其中，n是0至10的整数；m是4至20的整数。

本发明提供的清洗液组成物，是用于清洗玻璃基板表面，其组成包含：(A)碱金属氢氧基盐类化合物；(B)含有结构式(I)的非离子界面活性剂；(C)阴离子界面活性剂；(D)螯合剂；(E)添加剂；以及(F)水。本清洗液可用于清洗玻璃基板表面，并可以达到使用时产生泡沫较少、清洗作业性优异、低表面残留等特性，最重要的是，可以得提高表面洁净度的玻璃基板。

本发明的清洗液组成物，包括添加使用一种具有式(I)结构特征的非离子界面活性剂：

式(I)

其中，n是0至10的整数；m是4至20的整数。

本发明的清洗液组成物，其中所使用的碱金属氢氧基盐类化合物可以为一般周知的碱性化合物，较佳可为锂、钾、钠等碱金属的氢氧基盐类化合物等无机碱性化合物，较佳地至少一选自由氢氧化钠、氢氧化钾、及其组合所组成的群组。

本发明的清洗液组成物，其中所使用的阴离子性界面活性剂，较佳地至少一选自由具有及其组合的结构所组成的群组。换具话说，本发明所使用的阴离子性界面活性剂较佳地至少一选自由二级烷基磺酸钠(Secondary Alkane Sulfonate；SAS)、烷基二苯基醚二磺酸钠(disodium dodecyldiphenyl ether sulfonate)、及其组合所组成的群组。

本发明的清洗液组成物，其中所使用的螯合剂可以为乙二胺四乙酸或其盐类，最佳为其钠盐EDTA-2Na 4Na；硝基三乙酸或其盐类，最佳为其钠盐、NTA-3Na；或其它含有两个以上的羟基基团的盐类等化合物。

本发明的清洗液组成物，其中所使用的添加剂，由于本发明的清洁剂含有非离子界面活性剂，就提高清洗液的产品稳定性及清洗性的观点而言，较佳为含有对甲苯磺酸盐、二甲苯磺酸盐、或其组合。一般认为，对甲苯磺酸盐、二甲苯磺酸盐，于含有非离子界面活性剂的情形时，若与非离子界面活性剂并用，则可提高非离子界面活性剂的浊点，提高非离子界面活性剂本身的水溶性，且降低清洗时非离子性界面活性剂的残留，因此清洗性提升，其中最佳可使用对甲苯磺酸钠。

以下将详述本发明相关的清洗液组成物。