[发明专利]用于控制静电夹钳的系统及方法

权利要求书

1.一种用于控制静电夹钳的系统，包括：

计算机，所述计算机编程以从用户处接受控制信息并且提供对应于所述控 制信息的数字命令；

控制电路，所述控制电路具有能够接受数字命令并且提供对应于所述数字 命令的输出信号的电路；

信号评价电路，用于提供感测信号至所述控制电路的所述输出信号来产生 夹钳信号；

至少一个放大器，所述至少一个放大器具有用于接收所述夹钳信号的输入 端口以及用于提供高电压控制信号至至少一个静电夹钳的电极的输出端口；且

所述信号评价电路被配置为使用所述感测信号来监测所述静电夹钳的性 能。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述计算机以电子表格的形式 为用户提供界面用于输入控制信息。

3.如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述电子表格具有用于输入控 制信息的输入框。

4.如权利要求1的系统，其特征在于，所述感测信号为电压正弦波。

5.如权利要求1的系统，其特征在于，所述信号评价电路包括电流监测电 路。

6.如权利要求5的系统，其特征在于，所述电流监测电路监测放大器的电 流。

7.如权利要求5的系统，其特征在于，所述电流监测线路监测放大器的电 压。

8.一种监测静电夹钳的方法，包括：

提供控制信息给计算机，所述计算机编程以提供对应于所述控制信息的数 字命令；

使用计算机创建数字命令；

在控制电路处接受数字命令，所述控制电路具有能够接受数字命令并且提 供对应于所述数字命令的输出信号的电路；

使用控制电路创建输出信号；

提供感测信号并将所述感测信号与所述输出信号组合来产生夹钳信号；

在放大器处接受所述夹钳信号；

使用放大器放大所述夹钳信号并提供高电压控制信号至静电夹钳的电极；

通过使用所述感测信号来监测所述静电夹钳的操作；以及

提供对应于所述静电夹钳的操作的监测信息。

9.如权利要求8的方法，其特征在于，进一步包括响应所述监测信息调整 控制信息并且提供所述调整的控制信息至计算机。

10.如权利要求8的方法，其特征在于，所述静电夹钳的监测操作通过监 测放大器的电流来完成。

11.如权利要求10的方法，其特征在于，所述监测的电流包括由所述放大 器产生的AC电流。

12.如权利要求10的方法，其特征在于，所述监测的电流包括由所述放大 器产生的DC电流。

13.如权利要求8的方法，其特征在于，所述静电夹钳的监测操作是通过 监测所述放大器的电压完成的。

14.如权利要求13的方法，其特征在于，所述监测电压包括所述放大器的 DC电压。

15.如权利要求13的方法，其特征在于，所述监测电压包括所述放大器的 AC电压。