[发明专利]粒子束装置、光阑组件及在粒子束装置中改变束流的方法

权利要求书

1.一种粒子束装置(1)，具有

粒子束产生器(2)，用于产生形成粒子束的粒子；

物镜(10)，用于将粒子束聚焦到样品(16)上；

第一聚束透镜(6，6a，6b，6c)和第二聚采透镜(7，7a，7b，7c)，从所述粒子束产生器(2)朝向所述物镜(10)观察，首先放置所述第一聚束透镜(6，6a，6b，6c)，然后是所述第二聚束透镜(7，7a，7b，7c)；

第一光阑组件(8)，其位于所述粒子束产生器(2)和所述第一聚束透镜(6，6a，6b，6c)之间；以及

第二光阑组件(9)，其位于所述第一聚束透镜(6，6a，6b，6c)和所述第二聚束透镜(7，7a，7b，7c)之间；

其中

所述第一聚束透镜(6)具有第一极靴(6a)和第二极靴(6b)，其中，从所述粒子束产生器(2)朝向所述物镜(10)观察，首先放置所述第一极靴(6a)，然后是所述第二极靴(6b)；

可以相对于所述第二光阑组件(9)相互独立地调整所述第一极靴(6a)以及所述第二极靴(6b)；并且

优选是薄膜光阑的所述第二光阑组件(9)是将具有第一压力的真空的第一区域与具有第二压力的真空的第二区域相互分隔开的压力级光阑。

2.根据权利要求1所述的粒子束装置(1)，其中

所述第二聚束透镜(7)具有第三极靴(7a)和第四极靴(7b)，从所述粒子束产生器(2)朝向所述物镜(10)观察，首先首先放置所述第三极靴(7a)，然后是所述第四极靴(7b)；并且

可以相对于所述第二光阑组件(9)同时或者相互独立地调整所述第三极靴(7a)和所述第四极靴(7b)。

3.根据权利要求1或2所述的粒子束装置(1)，其中，在所述第一光阑组件(8)和所述第二聚束透镜(7，7a，7b，7c)之间放置至少一个偏转组件(25，26，27)。

4.根据上述权利要求中任一项所述的粒子束装置(1)，其中所述第一光阑组件(8)具有孔尺寸可调的光阑孔(98)。

5.根据权利要求4所述的粒子束装置(1)，其中

所述第一光阑组件(8)具有第一光阑元件(85)和第二光阑元件(89)；

所述第一光阑元件(85)和所述第二光阑元件(89)一起合作来形成光阑孔(98)；并且

所述第一光阑元件(85)和所述第二光阑元件(89)相对彼此可移动。

6.根据权利要求5所述的粒子束装置(1)，

所述第一光阑组件(8)具有第一光阑止挡元件(182)和第二光阑止挡元件(183)；

所述第一光阑元件(85)是可移动的，使其接触所述第一光阑止挡元件(182)以形成所述光阑孔(98)；并且/或者

所述第二光阑元件(89)是可移动的，使其接触所述第二光阑止挡元件(183)以形成所述光阑孔(98)。

7.根据权利要求5所述的粒子束装置(1)，其中

所述第一光阑组件(8)具有第一止挡元件(81)和第二止挡元件(82)；并且

移动所述第一光阑元件(85)是可移动的，使其接触所述第一止挡元件(81)以形成具有第一孔尺寸的光阑孔(98)，或者使其接触所述第二止挡元件(82)以形成具有第二孔尺寸的光阑孔(98)。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的粒子束装置(1)，其中

所述第一光阑组件(8)具有第三止挡元件(83)和第四止挡元件(84)；并且

所述第二光阑元件(89)是可移动的，使其接触所述第三止挡元件(83)或者所述第四止挡元件(84)以形成所述光阑孔(98)。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的粒子束装置(1)，其中，所述第一光阑组件(8)具有至少一个用于移动所述第一光阑元件(85)和/或所述第二光阑元件(89)的驱动组件(95，99)。

10.根据权利要求9所述的粒子束装置(1)，其中所述第一光阑组件(8)至少具有以下特征之一：

所述驱动组件(95)具有压电元件；

所述驱动组件具有电磁移动元件；或者

所述驱动组件(99)具有双金属元件。