[发明专利]废微蚀液再生与铜回收装置

权利要求书

1.一种废微蚀液再生与铜回收装置，其特征在于它包括在微蚀刻槽（1）侧壁的上部设置溢流管路连接废液储槽（2），废液储槽（2）侧壁下部的管路经阀门Ⅰ（3）和输液泵Ⅰ（4）连接过氧化氢分解循环槽（6），过氧化氢分解循环槽（6）侧壁下部的管路经阀门Ⅰ（3）和输液泵Ⅱ（7）分别连接过氧化氢分解器（22）和电积循环槽（8），过氧化氢分解器（22）的出液管路连接过氧化氢分解循环槽（6）；电积循环槽（8）侧壁下部的管路经阀门Ⅰ（3）和输液泵Ⅲ（9）分别连接电积槽（18）和配制槽（10），电积槽（18）的出液管路连接电积循环槽（8）；配制槽（10）侧壁下部的管路经阀门Ⅰ（3）和输液泵Ⅳ（11）连接微蚀液槽（12），微蚀液槽（12）侧壁下部的管路经阀门Ⅰ（3）和输液泵Ⅴ（13）连接微蚀刻槽（1）；所述废液储槽（2）中的废微蚀液成分为铜离子浓度为30～60g/L，过氧化氢1.5～11.5g/L，硫酸35～85g/L，稳定剂的重量百分比小于2.5%，溶液载体为去离子水。

2.根据权利要求1所述的一种废微蚀液再生与铜回收装置，其特征在于所述废液储槽（2）和氧化氢分解循环槽（6）的连接管路上设有过滤器A（5）。

3.根据权利要求1所述的一种废微蚀液再生与铜回收装置，其特征在于所述过氧化氢分解分解器（22）的进液管路上阀门Ⅴ（21）。

4.根据权利要求1所述的一种废微蚀液再生与铜回收装置，其特征在于所述电积循环槽（8）的进液管路上设有阀门Ⅳ（20）和过滤器B（19）。

5.根据权利要求1所述的一种废微蚀液再生与铜回收装置，其特征在于所述电积槽（18）的进液管路上设有阀门Ⅲ(17)。

6.根据权利要求1所述的一种废微蚀液再生与铜回收装置，其特征在于所述配制槽（10）的进液管路上设有阀门Ⅱ（16）和过滤器C（15）。

7.根据权利要求1所述的一种废微蚀液再生与铜回收装置，其特征在于所述微蚀液槽（12）与微蚀刻槽（1）之间的管路上设有过滤器D（14）。

8.根据权利要求1、2、3、4、5所述的一种废微蚀液再生与铜回收装置，其特征在于所述阀门Ⅰ（3）、阀门Ⅱ（16）、阀门Ⅲ(17)、阀门Ⅳ（20）、阀门Ⅴ（21）为电动控制阀或手动控制阀。

9.根据权利要求1所述的一种废微蚀液再生与铜回收装置，其特征在于所述配制槽（10）中经配制的微蚀液成分为铜离子浓度小于5g/L，过氧化氢10.5～18.5g/L，硫酸115～185g/L，稳定剂重量百分比小于2.5%，溶液载体为去离子水。