[发明专利]一种薄膜太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池，包括具有一个或一个以上光伏单元的外延片，以及覆盖复合于所述外延片两侧的前电极及背电极，其中所述光伏单元为薄膜结构的PN结或PIN结，所述前电极为透明导电薄膜或具图形结构的多层金属薄膜，其特征在于：所述太阳能电池在其朝向太阳辐照的一侧具有减反射膜的结构，所述减反射膜与前电极、外延片和背电极一并构成薄膜复合结构的太阳能电池。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池，其特征在于：所述太阳能电池的减反射膜为包含有氧化钛、氮化硅、氧化硅、氧化钽、氧化铝、硒化锌、硫化锌、氟化镁、氧化铟、氧化锌、掺锡氧化铟、氟化掺锡氧化铟、掺铝氧化锌、掺镓氧化锌中一种或一种以上的具减反射性能的层叠薄膜结构。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池，其特征在于：所述外延片为由IIIA-VA元素组成的、含有一个或一个以上光伏单元的薄膜结构，所述光伏单元的种类包括叠层PN结或叠层PIN结。

4.根据权利要求3所述的一种薄膜太阳能电池，其特征在于：所述外延片中的部分光伏单元相串联。

5.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池，其特征在于：所述太阳能电池为单结结构、双结级联式结构、双结以上级联式结构、复合双结级联加双结级联的结构、复合三结级联加单结的结构、复合双结级联加双结级联再加单结的结构，复合三结级联加双结级联加单结的结构，以及复合多结级联加多结级联的结构中的任意一种。

6.一种薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于包括步骤：

I、利用气相沉积法生长太阳能电池的外延片；

II、按任意先后顺序或同时在经表面处理后的外延片两侧通过化学或物理的方法沉积制作前电极和后电极，并对完成两种电极进行欧姆接触处理；

III、在上述步骤II所制得的外延片上制备隔离沟槽，并对隔离沟槽进行清洗和钝化处理，制得外延片表面覆盖所有光伏单元的窗口区；

IV、对外延片的窗口区采用化学或物理的方法沉积制作减反射膜。

7.根据权利要求6所述的一种薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于：步骤II和步骤IV中所述化学或物理的方法至少包括蒸发、溅射、旋涂、印刷和化学沉积。