[发明专利]用于形成有机聚合物薄膜的方法及设备

权利要求书

1.一种形成有机聚合物薄膜的方法，包括以下步骤：

使多种单体在真空状态的多个蒸发源容器中进行蒸发操作；和

将蒸发的所述多种单体引入到真空状态的沉积室中，以使其聚合在沉积室中布置的至少一个基底的表面上，由此进行真空沉积聚合，所述真空沉积聚合是在所述至少一个基底的所述表面上形成有机聚合物薄膜的操作，

其中，在所述多种单体的蒸发操作中，所述多种单体均以恒定量的液态形式存在于所述多个蒸发源容器中。

2.根据权利要求1所述的形成有机聚合物薄膜的方法，其中，所述至少一个基底包括多个基底，并且反复进行所述真空沉积聚合以在依次布置在沉积室中的多个基底的每一个的表面上形成有机聚合物薄膜，并且

在反复的真空沉积聚合中，每次所述多种单体的蒸发操作开始时，所述多种单体均以恒定量的液态形式存在于所述多个蒸发源容器中。

3.根据权利要求2所述的形成有机聚合物薄膜的方法，其中，在反复的真空沉积聚合中，每次在所述蒸发操作开始前向所述多个蒸发源容器的每一个供应需要量的液态形式的所述多种单体的每一种，由此允许所述多种单体的蒸发操作开始时所述多种单体均以恒定量的液态形式存在于所述多个蒸发源容器中。

4.根据权利要求2所述的形成有机聚合物薄膜的方法，其中，在反复的真空沉积聚合中，每次从所述多种单体的蒸发操作开始起至所述有机聚合物薄膜在所述多个基底的表面上的形成操作结束，始终允许每种单体以恒定量的液态形式存在于所述多个蒸发源容器的每一个中。

5.根据权利要求4所述的形成有机聚合物薄膜的方法，其中，每次从所述多种单体的蒸发操作开始起至所述有机聚合物薄膜在所述多个基底的表面上的形成操作结束，间歇地或连续地向所述多个蒸发源容器的每一个中供应液态形式的所述多种单体中的每一种，供应的量与由于蒸发而减少的量相等，由此允许液态形式的所述多种单体始终以恒定的量存在于所述多个蒸发源容器中。

6.根据权利要求1所述的形成有机聚合物薄膜的方法，其中，在从布置于沉积室中的基底卷上展开基底的同时，通过执行真空沉积聚合在所述至少一个基底的表面上连续形成有机聚合物薄膜，并且

从所述真空沉积聚合开始到结束，液态形式的所述多种单体始终以恒定的量存在于所述多个蒸发源容器中。

7.根据权利要求6所述的形成有机聚合物薄膜的方法，其中，从所述真空沉积聚合开始到结束，间歇地或连续地向所述多个蒸发源容器的每一个中供应液态形式的所述多种单体中的每一种，供应的量与由于蒸发而减少的量相等，由此允许液态形式的所述多种单体均以恒定的量存在于所述多个蒸发源容器中。

8.根据权利要求1所述的形成有机聚合物薄膜的方法，其中，所述多种单体是脂肪族二异氰酸酯和脂肪族二胺。

9.根据权利要求1所述的形成有机聚合物薄膜的方法，其中，所述有机聚合物薄膜为脂肪族聚脲膜、脂肪族聚酰胺膜、聚酯膜以及聚氨酯膜中的任意一种。

10.一种用于形成有机聚合物薄膜的设备，包括：

沉积室，其中设置有至少一个基底；以及

容纳多种单体的多个蒸发源容器，所述多个蒸发源容器被设置为在其内部为真空状态时使所述多种单体蒸发，从而向真空状态的沉积室引入蒸发的单体，

所述设备被设置成使在所述多个蒸发源容器中蒸发的所述多种单体聚合在沉积室中布置的所述至少一个基底的表面上，由此进行在所述至少一个基底的表面上形成有机聚合物薄膜的真空沉积聚合，

其中，设置用于向所述多个蒸发源容器供应液态形式的所述多种单体的多个供应机构，由此允许在所述单体的蒸发操作中，所述多种单体均以恒定量的液态形式存在于所述多个蒸发源容器中。

11.根据权利要求10所述的用于形成有机聚合物薄膜的设备，其中，所述至少一个基底包括多个基底，并且所述沉积室被设置为依次容纳所述多个基底的每一个，以通过反复进行所述真空沉积聚合在沉积室中布置的所述多个基底的每一个的表面上形成有机聚合物薄膜，并且

在反复的真空沉积聚合中，所述多个供应机构被设置成允许每次所述真空沉积聚合开始时，所述多种单体均以恒定的量存在于所述多个蒸发源容器中。