[发明专利]采用互补脉宽调制技术的模拟静电力反馈控制方法及电路

权利要求书

1.一种采用互补脉宽调制技术的模拟静电力反馈控制方法，其特征在于，包括：

a)在全局时钟的控制之下，根据输入的反馈控制信号幅值的变化，生成两路脉宽互补的反馈控制时钟，脉宽之差与反馈控制信号的幅值成线性关系；

b)这两路时钟分别控制着每一个时钟周期内，微加速度计可动质量块受到的分别指向固定极板TOP与固定极板BOT的静电力的作用时间；

c)由于极板间所施加电压是固定的，因此每一个时钟周期内，可动质量块受到的净作用力与作用时间之差有关，静电力反馈的线性度取决于反馈控制信号与静电力作用时间之差的转换关系的线性程度，而对微加速度计的结构失配不敏感。

2.一种采用互补脉宽调制技术的模拟静电力反馈控制电路，其特征在于，包括用于将外部输入的反馈控制电压Vin_FB与内部产生的锯齿波电压进行比较的比较器(1)，带使能端的锯齿波发生器(2)，用于产生两路互补控制时钟的逻辑块(3)，以及静电力反馈控制开关(4、5、6、7、8)；其中，比较器(1)的输入端Vin_P与反馈控制电路的输入端Vin_FB相连，比较器(1)的输入端Vin_N与带使能端的锯齿波发生器(2)的输出端Vo相连，比较器(1)的输出端Vo与逻辑块(3)的输入端Vin_sig相连；

带使能端的锯齿波发生器(2)的使能输入端EN分别和反馈控制电路的输入端phFB、逻辑块(3)的输入端Vin_syn、开关(6)的控制端、开关(7)的控制端、开关(8)的控制端相连；

逻辑块(3)的输出端Vo_P与开关(4)的控制端相连，逻辑块(3)的输出端Vo_N与开关(5)的控制端相连；

开关(4)的一端接电压Vdr_N，开关(4)的另一端分别与开关(5)的一端、开关(6)的一端相连，开关(5)的另一端接电压Vdr_P，开关(6)的另一端接反馈控制电路的端子CTR，开关(7)的一端接电压Vdr_P，开关(7)的另一端接反馈控制电路的端子TOP，开关(8)的一端接电压Vdr_N，开关(8)的另一端接反馈控制电路的端子BOT。

3.如权利要求2所述的模拟静电力反馈控制电路，其特征在于，所述逻辑块(3)包括非门(9)，与门(10、11)；

非门(9)的输入端分In别和逻辑块(3)的输入端Vin_sig、与门(10)的输入端InB相连，非门(9)的输出端Out和与门(11)的输入端InB相连，与门(10)的输入端InA分别和逻辑块(3)的输入端Vin_syn、与门(11)的输入端InA相连，与门(10)的输出端Out与逻辑块(3)的输出端Vo_P相连，与门(11)的输出端Out与逻辑块(3)的输出端Vo_N相连。

4.如权利要求2所述的模拟静电力反馈控制电路，其特征在于，使用时，三端子接口TOP、CTR、BOT与电容式微加速度计相连接。