[发明专利]一种双通道快速充气气路

说明书

技术领域

本发明涉及一种双通道快速充气气路，应用到离子注入机的真空充气，属于半导体器件制造领域。

背景技术

在离子注入工艺中，产能已经成为一项重要指标。对离子注入机来说，由于wafer离开片库前要进行片库充气，所以片库的真空状态到大气状态转换速度也就成为影响产能的一个因素。双通道快速充气气路装有两种隔膜阀，可以以不同速度对目标腔体进行充气。根据任务要求，只需控制两气路中的隔膜阀就可以对充气速度进行控制，从而满足设备的各种指标要求。

发明内容

本发明公开一种简单、高效的双通道快速充气气路。通过以下技术方式实现：

一种双通道快速充气气路包括：减压阀(1)；气体过滤器(2)；节流阀(3)；超高纯隔膜阀(4)；高流量隔膜阀(5)。所述的减压阀(1)连接在气路起始端，与气体过滤器(2)连接，气体气体过滤器(2)后的气路分两个支路，所述的节流阀(3)和超高纯隔膜阀(4)连接在一个分支，所述的高流量隔膜阀(5)连接在另一个分支，然后两个支路再合并为一个气路。通过控制超高纯隔膜阀(4)和高流量隔膜阀(5)的开关，实现不同的充气速度，从而满足不同情况的充气要求。

在需要低速充气时，开启超高纯隔膜阀(4)，充气气体流量通过节流阀(3)调节；需要高速充气时，开启高流量隔膜阀(5)，充气气体流量通过减压阀(1)调节充气压力控制，两支路在出口端并为一路。

附图说明

附图说明本发明的具体实施方式。在图中，相同的附图标记表示相同的部件。

图1是本发明的一种实施方式的原理示意图。

图2是本发明的一种实施方式气路组件示意图

具体实施方式：

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。

图2是气路组件示意图，部件包括：减压阀(6)、气体过滤器(7)、节流阀(8)、超高纯隔膜阀(9)、高流速隔膜阀(10)、腔体充气口(11)、转接头(12)、卡套接管(13)

所述减压阀(6)，进气端接高压气源，出气端使用转接头(12)与卡套接管(13)相连。

所述卡套接管(13)另外一端接气体过滤器(7)相连，气体过滤器(7)出气口分为两条支气路。

所述超高纯隔膜阀(9)和节流阀(8)安装在同一条支气路中，另外一条支气路安装高流速隔膜阀(10)。

所述超高纯隔膜阀(9)出气口和高流速隔膜阀(10)出气口与腔体充气口(11)相连。

所述超高纯隔膜阀(9)用于真空腔体低速充气，当系统处于低速充气状态时，超高纯隔膜阀(9)开，高流速隔膜阀(10)关。

所述高流速隔膜阀(10)用于真空腔体中高速充气，当系统处于中高速充气状态时，超高纯隔膜阀(9)关，高流速隔膜阀(10)开。

所述高流速隔膜阀(9)和超高纯隔膜阀(10)同时开达到最大充气速度。

以上所述已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。