[发明专利]利用反歧化反应通过反应精馏制备三氯氢硅方法及设备

权利要求书

1.利用反歧化反应通过反应精馏制备三氯氢硅的方法，其特征是二氯二氢硅与四氯化硅在反应精馏塔中上部反应，反应精馏塔塔顶得到未完全反应的二氯二氢硅，于塔顶和塔中部回流，塔底得到二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅的混合物，进入脱轻塔脱除轻组分，脱轻塔塔顶得到二氯二氢硅回流至反应精馏塔循环利用，塔底得到三氯氢硅和四氯化硅的混合物，进入脱重塔将二者分离，脱重塔塔顶三氯氢硅为产品，塔下部侧线采出四氯化硅进入反应精馏塔循环利用，塔底得到过量四氯化硅。

2.利用反歧化反应通过反应精馏制备三氯氢硅设备，包括反应精馏塔(1)、脱轻塔(2)、脱重塔(3)、脱轻塔进料泵(4)、脱重塔进料泵(5)、三氯氢硅产品贮罐(6)、过量四氯化硅贮罐(7)；其特征是反应精馏塔、脱轻塔和脱重塔依次连接；反应精馏塔包括塔顶冷凝器、塔顶回流罐及塔底再沸器，塔中上段填充大孔阴离子交换树脂或固载季铵盐颗粒作为催化剂层，下段为塔板、散堆填料或规整填料；脱轻塔包括塔顶冷凝器、塔顶回流罐及塔底再沸器，整塔塔内为塔板、散堆填料或规整填料；脱重塔包括塔顶冷凝器、塔顶回流罐及塔底再沸器，整塔塔内为塔板、散堆填料或规整填料。

3.如权利要求2所述的设备，其特征是二氯二氢硅与四氯化硅原料分别进料时，四氯化硅于反应精馏塔1塔顶位置进料，二氯二氢硅于反应精馏塔1中下部位置进料。

4.如权利要求2所述的设备，其特征是二氯二氢硅与四氯化硅原料混合进料时，原料于脱轻塔2中上部位置进料。