[发明专利]一种用于离子注入机的分析光栏

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于离子注入机的分析光栏。更进一步的，本发明涉及一种结构简单可靠且长寿命的分析光栏。本发明涉及离子注入机，属于半导体装备制造领域。

背景技术

随着科学技术的发展，离子注入技术得到了越来越广泛的应用，而在离子注入过程中，对离子注入所需离子的分析、提纯以及保留，是离子注入的重要环节。

本发明提供了一种分析光栏，在离子束经过分析器得到不同运动方向的运动粒子后，能够有效去除多余粒子，保留注入所需离子，其结构简单可靠，使用寿命长，可用于离子注入机。

发明内容

本发明提供一种用于离子注入机的分析光栏，包括两个旋转水接头2，两对快插接头1，用于冷却整个装置，与旋转水接头2相连的两个同步带轮3，通过法兰结构4，同步带轮3带动磁流体密封组件5以及和磁流体密封组件5相连接的石墨筒6转动，其中同步带轮3可以通过电机带动旋转，且旋转速度达到1700rpm以上，石墨筒6的高速旋转使粒子能够接触到更大面积的石墨，以加强散热效果，从而延长分析光栏的使用寿命。其中两个石墨筒6的旋转方向相反，避免了非注入粒子进入离子束中。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。

图1为分析光栏主要结构的主视图。

图2为分析光栏中两个同步带轮转动方向示意图。

图3为分析光栏的工作原理图。

图1中2为两个旋转水接头，1为两对快插接头，与旋转水接头2相连的为同步带轮3，5为磁流体密封组件，6为石墨筒，其中同步带轮3可以通过电机带动旋转，且旋转速度达到1700rpm以上，石墨筒6的高速旋转使粒子能够接触到更大面积的石墨，以加强散热效果，从而延长分析光栏的使用寿命。其中两个石墨筒6的旋转方向相反，避免了非注入粒子进入离子束中。

图2中7为传动带，8和9分别为传动带轮一和传动带轮二。

具体实施方式：

如图1所示，本发明涉及了一种用于离子注入机的分析光栏，与两对快插接头1相连的两个旋转水接头2，通过法兰结构4连接至石墨筒6内，用于水冷分析光栏工作中产生的热量，延长石墨筒的使用寿命；与旋转水接头1相连的同步带轮3可以通过电机带动高速旋转，所述同步带轮3能够带动磁流体密封组件5，以及石墨筒6高速旋转。

由图2可以看出，同步带轮3在传动带轮一8、传动带轮二9和传动带7的共同作用下，以图示方向转动，其中传动带轮一8可以由选定电机带动，且同步带轮3的旋转方向即为石墨筒6的旋转方向，明显的，两个石墨筒6的旋转方向相反。

由图3可以得出本发明所涉及的分析光栏的工作原理，粒子经过分析器后，可以得到具有不同运动方向的束流A、B和C，其中束流B为离子注入所需要的部分，直接通过两石墨筒6之间的狭缝进入前扫描抑制区域，束流A和C为多余的粒子，需要去除到注入系统以外；由图3可见，当两个石墨筒6以相反的方向旋转运动时，能够有效的将束流A和B中的粒子带出离子注入系统，避免其进入到待注入的离子束B中；在工作过程中，本发明涉及的分析光栏，其两个石墨筒6旋转速度大于1700rpm，由于高速旋转，束流A和B中的粒子能够接触到更大面积的石墨，以提高散热效果，从而延长了分析光栏的使用寿命。

以上所述已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。