[发明专利]一种电驱动形状记忆合金丝的常闭型主动微阀

权利要求书

1.一种电驱动形状记忆合金丝的常闭型主动微阀，其由柔性聚合物结构层(3)，底板(6)，形状记忆合金丝(1)以及焊盘(7)组成；

所述柔性聚合物结构层(3)内部设有微流道结构，所述微流道结构包括：

一流体入口(2)；

一流体出口(8)；

其两端分别于所述流体入口(2)和流体出口(8)相连通的一内部流体流道(9)；

所述内部流体流道(9)中部断开形成中间断开结构(10)；所述断开结构中间下表面周围设一中间疏水隔断区(4)；

所述中间疏水隔断区(4)之外的所述柔性聚合物结构层(3)下表面与所述底板(6)通过粘接层(5)粘接在一起；

所述形状记忆合金丝(1)中部弯成凹陷状，所述形状记忆合金丝(1)的凹陷状中心底端与中间疏水隔断区(4)正上方的柔性聚合物结构层(3)上表面粘接固定，所述形状记忆合金丝(1)的两端分别依次穿过柔性聚合物结构层(3)和底板(6)，并分别与设置于所述底板(6)下表面上的第一焊盘(7)和第二焊盘(71)焊接固定，所述第一焊盘(7)和第二焊盘(71)分别与驱动电源的正负极相连。

2.按权利要求1所述的电驱动形状记忆合金丝的常闭型主动微阀，其特征在于，所述底板(6)为玻璃板或印刷电路板。

3.按权利要求1所述的电驱动形状记忆合金丝的常闭型主动微阀，其特征在于，所述中间疏水隔断区(4)为具有厚度为1μm-100μm的凸起结构。

4.按权利要求1所述的电驱动形状记忆合金丝的常闭型主动微阀，其特征在于，所述内部流体流道(9)宽度为0.2mm-2mm，深度为0.01mm-1mm

5.按权利要求1所述的电驱动形状记忆合金丝的常闭型主动微阀，其特征在于，所述形状记忆合金丝(1)直径为0.05mm-0.2mm。

6.按权利要求1所述的电驱动形状记忆合金丝的常闭型主动微阀，其特征在于，所述驱动电源的驱动电流为0.1A-0.3A。

7.按权利要求1所述的电驱动形状记忆合金丝的常闭型主动微阀，其特征在于，所述形状记忆合金丝(1)为镍钛形状记忆合金丝。