[发明专利]废气处理热循环烘干系统无效
申请号: | 201010515425.8 | 申请日: | 2010-10-09 |
公开(公告)号: | CN102163643A | 公开(公告)日: | 2011-08-24 |
发明(设计)人: | 陆祖宏;王鹏 | 申请(专利权)人: | 浙江哈氟龙新能源有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B01D53/86;B01D53/72;B05D3/02 |
代理公司: | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人: | 胡坚 |
地址: | 311113 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 废气 处理 循环 烘干 系统 | ||
1.一种废气处理热循环烘干系统,其特征在于,包含以下结构:
一组烘箱(1),所述烘箱(1)相互串联形成一个分段式的多级烘干系统;
一个废气处理热循环装置(2);
一组管道(3),其分别设置在相应的所述烘箱(1)上,所述烘箱(1)分别通过各自相对应的管道(3)连通到所述废气处理热循环装置(2)上;
其中,所述热循环装置(2)对所述烘箱(1)中烘干过程中产生的废气进行收集、燃烧和处理,并且利用废气的燃烧热通过换热向所述各烘箱(1)供热。
2.如权利要求1所述的废气处理热循环烘干系统,其特征在于,所述每一管道(3)进一步包括一个第一支管(31)和一个第二支管(32)。所述第一支管(31)分别将各自相对应的所述烘箱(1)内的废气传输至所述废气处理热循环装置(2),所述第二支管(32)将经所述废气处理热循环装置(2)加热的热空气分别传输至各自相对应的所述烘箱(1)内。
3.如权利要求2所述的废气处理热循环烘干系统,其特征在于,所述废气处理热循环装置(2)包括一个第一换热器(21)、一个催化床(23)、一个燃烧腔(24)和一个第二换热器(25);
所述第一换热器(21)具有第一冷流体入口(211)、第一冷流体出口(212)、第一热流体入口(213)和第一热流体出口(214);
所述第二换热器(25)具有第二冷流体入口(251)、第二冷流体出口(252)、第二热流体入口(253)和第二热流体出口(254);
所述第一冷流体入口(211)连接所述第一支管(31),所述第一冷流体出口(212)通过所述催化床(23)连接所述燃烧腔(24)的一端,所述第一热流体入口(213)连接所述燃烧腔(24)的另一端,所述第一热流体出口(214)连接所述第二换热器(25)的第二热流体入口(253),所述第二热流体出口(254)输出燃烧处理后的气体,所述第二冷流体入口(251)输入空气,所述第二冷流体出口(252)连接所述各第二支管(32)。
4.如权利要求3所述的废气处理热循环烘干系统,其特征在于,从所述各烘箱(1)排出的废气经相应的所述各第二支管(31)汇集,传输至所述废气处理热循环装置(2),并从所述冷流体入口(211)处传输进入所述第一换热器(21)进行换热,并从所述第一冷流体出口(212)处排出并随后穿过所述催化床(23)进入所述燃烧腔(24);
所述废气在所述燃烧腔(24)内,在催化床(23)的催化作用下燃烧,经燃烧处理后的废气从第一热流体入口(213)处传输进入所述第一换热器(21)进行换热,随后从所述第二热流体出口(214);
燃烧后的废气经热交换后从所述第二热流体入口(253)处传输进入所述第二换热器(25),并与从所述第二冷流体入口(251)处输入的空气进行热交换,随后从第二热流体出口(254)处排出;
经热交换后的空气温度升高,其从所述冷流体出口(252)处排出,形成热空气,该热空气随后进入与所述冷流体出口(252)相连的所述各第二支管(32),并分别传输至相应的所述各烘箱(1),从而用于加热所述烘箱(1)以提供烘干所需的温度。
5.如权利要求4所述的废气处理热循环烘干系统,其特征在于,所述第一冷流体出口(212)和所述催化床(23)之间进一步设有一个加热腔(22),
所述加热腔(22)用于对其内部的气体进行预热;
所述加热腔(22)内部设有一个温度传感器(221)和一个加热器(222),所述温度传感器(221)用于实时测量所述加热腔(22)内部的气体温度,当气体温度低于预设温度范围的下限值时,所述加热器(222)开启对气体加热;当气体温度高于预设温度范围的上限值时,所述加热器(222)停止对气体加热;这样就保证了所述废气在进入所述燃烧腔(24)时具有足够高的温度。
6.如权利要求5所述的废气处理热循环烘干系统,其特征在于,所述催化床(24)含有钯或铂作为催化剂。
7.如权利要求6所述的废气处理热循环烘干系统,其特征在于,所述每一第二支管(32)上进一步设有一个调节阀(4),其用于调节所述第二支管(32)向所述烘箱(1)提供的热空气的流量,从而调整所述各烘箱(1)的温度,在所述各烘箱(1)内部形成不同的烘干温度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的