[发明专利]压电材料及压电元件

权利要求书

1.一种压电元件，其特征在于，其具有：

压电体膜、配置于所述压电体膜的电极，

其中，

所述压电体膜由含Bi(Fe、Mn)O₃及BaTiO₃的混合晶构成。

2.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，

所述Bi(Fe、Mn)O₃由组成式Bi(Fe_1-y、Mn_y)O₃表示，且0.01＜y＜0.1。

3.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，

所述Bi(Fe、Mn)O₃由组成式Bi(Fe_1-y、Mn_y)O₃表示，且0.02≤y≤0.07。

4.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，

所述压电体膜由组成式(1-x)Bi(Fe、Mn)O₃-xBaTiO₃表示，且0＜x＜0.4。

5.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，

所述压电体膜由组成式(1-x)Bi(Fe、Mn)O₃-xBaTiO₃表示，且0＜x≤0.3。

6.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，

所述压电体膜由组成式(1-x)Bi(Fe、Mn)O₃-xBaTiO₃表示，且0＜x≤0.2。

7.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，

所述电极由白金构成。

8.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，

所述电极形成在层叠有氮化钛铝及氧化铱的密接层上。

9.如权利要求8所述的压电元件，其特征在于，

所述密接层形成在由氧化硅构成的振动板上。

10.如权利要求9所述的压电元件，其特征在于，

所述振动板形成由硅构成的基板上。

11.一种液体喷射头，其特征在于，

含有权利要求1～10中任一项所述的压电元件。

12.一种液体喷射装置，其特征在于，

含有权利要求11所述的液体喷射头。