[发明专利]一种抛光组合物无效
| 申请号： | 201010517496.1 | 申请日： | 2010-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN102453437A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 宋伟红;姚颖 | 申请（专利权）人： | 安集微电子(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 组合 | ||
1.一种抛光组合物，包含下列组分：
a)含有一种磨料，
b)一种pH调节剂，
c)一种辅助清洗剂，
d)一种螯合剂。
2.如权利要求1所述的抛光组合物，其特征在于，所述磨料为二氧化硅溶胶或发烟硅粉的水分散体。
3.如权利要求1所述的抛光组合物，其特征在于，所述磨料的粒径为40-250nm，优选的为100-200nm。
4.如权利要求1所述的抛光组合物，其特征在于，所述磨料的含量为5-40wt％，优选的为10-20wt％。
5.如权利要求1所述的抛光组合物，其特征在于，所述pH调节剂为无机强碱和/或有机胺。
6.如权利要求5所述的抛光组合物，其特征在于，所述pH调节剂选自KOH、NaOH、甲醇钠、乙醇钠、三乙胺和/三乙醇胺中的一种或多种。
7.如权利要求1所述的抛光组合物，其特征在于，所述的辅助清洗剂为一种水溶性聚合物。
8.如权利要求7所述的抛光组合物，其特征在于，所述的水溶性聚合物为聚丙烯酸及其盐或丙烯酸共聚物。
9.如权利要求8所述的抛光组合物，其特征在于，所述的水溶性聚合物为聚丙烯酸、聚丙烯酸铵和/或聚丙烯酸-马来酸共聚物。
10.如权利要求7所述的抛光组合物，其特征在于，所述的水溶性共聚物的分子量在2000-30000。
11.如权利要求10所述的抛光组合物，其特征在于，所述的水溶性共聚物的分子量为2000-10000。
12.如权利要求1所述的抛光组合物，其特征在于，所述螯合剂为选自醋酸、乙二酸、丙二酸、柠檬酸和乙二胺四乙酸中的一种或多种。
13.如权利要求12所述的抛光组合物，其特征在于，所述螯合剂的含量为：0.1wt％-1wt％。
14.如权利要求1所述的抛光组合物，其特征在于pH值在10-12。
15.如权利要求14所述的抛光组合物，其特征在于pH值在10.5-11.5。
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