[发明专利]仿直翅目鸣虫翅膜超微结构的声学传感器设计方法无效

专利信息
申请号: 201010517643.5 申请日: 2010-10-25
公开(公告)号: CN102036143A 公开(公告)日: 2011-04-27
发明(设计)人: 任炳忠;王寅亮;刘侠;尚利娜;刘斐;王双维 申请(专利权)人: 东北师范大学
主分类号: H04R1/28 分类号: H04R1/28
代理公司: 长春市东师专利事务所 22202 代理人: 刘延军;李荣武
地址: 130024 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 仿直翅目鸣虫翅膜 超微结构 声学 传感器 设计 方法
【权利要求书】:

1.仿直翅目鸣虫翅膜超微结构的声学传感器设计方法,其特征是由下述步骤实现:

一、首先要确定相应的表面结构平滑的传感器的设计各项指标,称为原型传感器.原型传感器决定了待设计制作传感器的基本类型、传感器各组成部分所用材料、组成方式、表面整体结构、决定敏感元件的中心频率、Q值调整起点、等效振动质量;

二、根据设计目标,确定传感器敏感元件表面细微结构基本特征,即高Q值采取下凹结构,低Q值宽带传感器采取上凸结构;

三、根据目标Q值,由具体实施方式中13式或17式其中Rb为有下凹表面结构的所受的空气粘滞阻力,R″=R0+R′,R0为圆膜所受空气粘滞阻力,R′是除空气粘滞阻力以外的阻尼,Q0为原型传感器Q值,Qa为表面有上凸结构的传感器Q值,S0为膜总面积,Sb为下凹坑体有效面积,Sa为上凸结构有效面积,τ0为表面平滑圆膜单位面积受空气粘滞阻力,τa为圆膜表面上凸结构处单位面积受空气粘滞阻力,确定传感器敏感元件表面细微结构面积Sb或Sa,并由此确定下凹或上凸结构具体参数,由于影响传感器特性的因素错综复杂,理论设计的参数只作为基本参考;

四、去除由于新设计形成的相应传统传感器结构的冗余部分,制作出传感器样品;

五、经过反复测试、调整,最后确定设计方案。

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