[发明专利]麦克风

权利要求书

1.一种麦克风，包括：

衬底管芯(24)；以及

从衬底管芯形成的麦克风(20)和加速度计(22)，其中，加速度计适于提供用于对衬底管芯的机械振动加以补偿的信号。

2.根据权利要求1所述的麦克风，其中，加速度计(22)是包括悬浮质量块(50)的MEMS电容性加速度计，麦克风(20)是包括后板(48)的MEMS电容性麦克风，所述后板(48)通过气隙与传感器隔膜(46)分开。

3.根据权利要求1或2所述的麦克风，其中，加速度计(22)适于具有实质上与麦克风(20)对机械振动的频率响应相等的频率响应。

4.根据权利要求1、2或3所述的麦克风，其中，衬底管芯(24)包括多个层，麦克风(20)的至少一部分和加速度计(22)的至少一部分是从衬底管芯的至少一个层形成的。

5.根据引用权利要求2的权利要求4所述的麦克风，其中，悬浮质量块(50)和后板(46)是从相同层形成的。

6.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的麦克风，其中，衬底管芯(24)包括多晶硅层。

7.根据权利要求2至6中任一项权利要求所述的麦克风，其中，悬浮质量块(50)的面积比传感器隔膜(46)的面积小。

8.根据权利要求2至7中任一项权利要求所述的麦克风，其中，悬浮质量块(50)被穿孔以便实质上声学透明。

9.一种制造麦克风的方法，包括：

提供衬底管芯；

从衬底管芯形成麦克风和加速度计，

其中，加速度计适于提供用于对衬底管芯的机械振动加以补偿的信号。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，形成步骤包括：形成包括通过气隙与传感器隔膜(46)分开的后板(48)的MEMS电容性麦克风，以及形成包括悬浮质量块(50)的MEMS电容性加速度计。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，衬底管芯(24)包括多个层，麦克风(20)的至少一部分和加速度计(22)的至少一部分是从衬底管芯的至少一层形成的。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，形成麦克风和加速度计的步骤包括：

将多层衬底管芯的上部层(34)图案化，以限定上部层(34)的第一部分(34a)和第二部分(34b)；

在上部衬底层(34)上沉积牺牲层(38)和后板层(40)；

蚀刻后板层(40)以在上部衬底层(34)的第一部分(34a)和第二部分(34b)上方限定开口(42)；

去除牺牲层(38)在上部衬底层(34)的第一部分(34a)和第二部分(34b)上方的部分，从而从上部衬底层(34)的第二部分(34b)上方的后板层(40)形成悬浮质量块(50)；以及

去除多层衬底(30)的下部层(32)在上部衬底层(34)的第一部分(34a)下方的部分(44)，从而从上部衬底层(34)的第一部分(34a)形成传感器隔膜(46)，并从上部衬底层(34)的第一部分(34a)上方的后板层(40)形成后板(48)。

13.根据权利要求11或12所述的方法，其中，衬底管芯(24)包括多晶硅层。