[发明专利]一种光刻机的调平系统

权利要求书

1.用于接近接触式光刻机的调平系统，其特征在于包括掩模夹(101)、掩模版(102)、样片(103)、承片台(104)、球碗气浮机构(105)、柔性铰链(106)、三点弹性支撑机构(107)、气缸(108)、升降驱动机构(109)、正压输入端(110)、负压输入端(111)、电控阀门(112)、驱动控制电路板(113)、主控制器(114)和限位机构(115)；其中：掩模夹(101)位于掩模版(102)上方并固接，掩模版(102)位于样片(103)上方并固接，样片(103)位于承片台(104)上方并固接；承片台(104)位于球碗气浮机构(105)上方；三点弹性支撑机构(107)与球碗气浮机构(105)通过柔性铰链(106)连接；气缸(108)与升降驱动机构(109)连接；升降驱动机构(109)的输入端与驱动控制电路板(113)输出端连接；两个电控阀门(112)的输入端分别与正压输入端(110)和负压输入端(111)连接；驱动控制电路板(113)的一输入端与两个电控阀门(112)的输出端连接；驱动控制电路板(113)的另一输入输与主控制器(114)的输出端连接；限位机构(115)的两端分别与承片台(104)和柔性铰链(106)连接；

升降驱动机构(109)带动三点弹性支撑机构(107)、球碗气浮机构(105)、承片台(104)及样片(103)上升运动；通过电控阀门(112)控制气缸(108)连通正压输入端(110)的正压实现锁定三点弹性支撑机构(107)；通过电控阀门(112)控制气缸(108)断开正压输入端(110)的正压实现松开三点弹性支撑机构(107)；通过电控阀门(112)连通负压输入端(111)的负压实现锁定球碗气浮机构(105)；通过电控阀门(112)连通正压输入端(110)的正压实现气浮球碗气浮机构(105)；主控制器(114)接收由限位机构(115)发送的调平完成信号后锁定球碗气浮机构(105)及三点弹性支撑机构(107)，同时停止升降驱动机构(109)上升运动。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：所述掩模夹(101)是水平基准面。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：掩模版(102)通过负压输入端(111)的负压或机械锁止机构固定在掩模夹(101)的下方。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：所述样片(103)通过负压输入端(111)的负压或机械锁止机构固定在承片台上方(104)。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：断开所述负压输入端(111)的负压或松开机械锁止机构取下掩模版(102)和样片(103)。

6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：三点弹性支撑机构(107)之间以120°夹角均匀分布设置。

7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：升降驱动机构(109)是压电陶瓷、或电机、或气动驱动元件。