[发明专利]一种用于硅片切割的工作台

说明书

技术领域

本发明涉及一种工作台，特别涉及一种用于硅片切割的工作台，属于硅片加工设备技术领域。

背景技术

硅片加工过程中，要将硅片放在工作台上进行操作。传统的工作台包括立柱、台面，其中，所述立柱与台面通过连接装置固定成一体，所述连接装置包括连接构件、卡紧件、紧固件，所述连接构件两侧分别通过卡紧件及紧固件与立柱及台面连接成一体，但该结构的工作台，由于卡紧件与立柱及台面连接面均为平滑面，连接构件与立柱及台面的连接只通过紧固件的压紧力来实现，卡紧件容易从立柱上滑落，因此，该结构的工作台连接强度较低、一旦出现震动，立柱与台面很容易脱落，安全性较差。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种连接强度好、安全系数高的用于硅片切割的工作台。

为了解决上述技术问题，本发明一种用于硅片切割的工作台，包括立柱、台面，所述立柱与所述台面通过连接装置固定成一体，所述连接装置包括连接构件、紧固件，所述连接构件两侧分别通过紧固件与所述立柱连接及所述台面相连；其中，所述立柱开口边内侧设有一卡紧件，所述卡紧件为一片状构件，所述卡紧件的外表面上设有若干卡齿；所述立柱开口边两侧设有若干凸齿，连接时，所述紧固件穿过所述卡紧件将连接构件的侧边与所述立柱相连；所述卡紧件的卡齿与所述立柱凸齿相啮合。

上述一种用于硅片切割的工作台，其中，所述台面开口边两侧设有凸齿，所述台面内侧设有卡紧件，连接时，所述紧固件穿过所述卡紧件将连接构件的侧边与台面相连；所述卡紧件的卡齿与所述台面开口边的凸齿相啮合。

上述一种用于硅片切割的工作台，其中，所述紧固件与所述连接构件之间设有一压簧，所述压簧两端分别抵在所述紧固件内端面及所述连接构件安装孔的台阶面上。

采用上述结构的用于硅片切割的工作台，通过卡齿与凸齿连接时的啮合，形成工作时的锁紧力，可防止卡紧件在立柱上滑动，从而提高了工作台的连接强度；且由于连接构件与台面连接时，也是通过卡齿与凸齿啮合来实现的，不仅进一步提高了连接强度，且可还实现立柱与台面的倾斜连接；另外，由于所述紧固件与连接构件之间设有压簧，当需要调节台面位置时，只需要将紧固件按下，克服压簧的弹力，将立柱上的凸齿与卡紧件上的卡齿松开，即可移动连接装置，到达适当位置时，再将紧固件拧紧即可，从而方便了安装，使台面位置可任意调节。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是本发明A处剖视图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步说明。

如图所示，为了解决上述技术问题，本发明一种用于硅片切割的工作台。，包括立柱1、台面2，所述立柱1分别通过连接装置3固定设置在所述台面2两端，其中，所述连接装置3包括连接构件31、紧固件33，所述连接构件31两侧分别通过紧固件33与所述立柱1连接及所述台面2相连；所述立柱开口边内侧设有一卡紧件32，所述卡紧件32为一片状构件，所述卡紧件32的外表面上设有若干卡齿12；所述立柱1开口边两侧设有若干凸齿11，连接时，所述紧固件33穿过所述卡紧件32将连接构件31的侧边与所述立柱1相连；所述卡紧件32的卡齿12与所述立柱凸齿11相啮合。连接构件31为一L形整体构件，所述连接构件31两侧分别设有一用于安装紧固件33的安装孔34，安装孔34为一T形孔，所述安装孔34上部分为光孔，下部分为螺纹孔，立柱1与台面2的截面均为C型；由于该卡紧件32表面上设有卡齿12，连接时，该卡齿12与立柱1上的凸齿11啮合，形成工作时的锁紧力，从而大大提高了连接强度。

为了实现多种连接方式，可在所述台面2开口边两侧设有凸齿11，所述台面2内侧设有卡紧件32，连接时，所述紧固件33穿过所述卡紧件32将连接构件31的侧边与台面32相连；所述卡紧件的卡齿12与所述台面2开口边的凸齿（11）相啮合。由于连接构件31与台面2连接时，也是通过卡齿12与凸齿11啮合来实现的，可防止连接构件沿着台面横向滑动，从而，不仅进一步提高了连接强度，且可还实现立柱1与台面2的倾斜连接。

为了使用方便，还可在所述紧固件33与所述连接构件31之间设有一压簧35，所述压簧35两端分别抵在所述紧固件33内端面及所述连接构件安装孔34的台阶面上。由于在紧固件与连接构件之间设置了压簧35，使用时，靠该压簧35的弹力可使的卡紧件32和紧固件33可放置任意需要放置的位置。当需要调节时，只需要轻轻按下紧固件，克服压簧35的弹力，即可将连接构件移动到需要的位置。位置调节好后，装上各种配件用螺钉压紧，即可。因此。无论在对接、直角连接、倾斜连接中均可随心所欲的变化连接方式。

综上所述，本发明具有连接强度好、安全系数高，安装方便、灵活且结构简单的优点。