[发明专利]太阳能电池的制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池的制造方法，包括下列步骤：

提供一基板；

利用溅镀一第一靶材，在该基板上形成一第一薄膜；

在该基板上形成一第二薄膜，形成该第二薄膜包括在该第一薄膜上方溅镀一第二靶材，其中该第二靶材包括硫或一硫化物；以及

利用施加能量至该基板，从该第一和第二薄膜形成硫属化合物太阳能吸收物，其中该硫属化合物太阳能吸收物包括第I族的至少一个元素和第VI族的至少二个元素。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池制造方法，其中该硫属化合物太阳能吸收物还包括第III族的至少二元素。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，形成该第二薄膜还包括同时溅镀该第一靶材和该第二靶材。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其中该基板为一苏打石灰玻璃基板，其中还包括将钼涂布该基板。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其中该第二靶材包括硫化铟、硫化铜、硫化镓、硫化铝、硫化锡、硫化锌、硫化银或硫化金。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其中该第二靶材包括40％至90％原子百分比的硫。

7.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其中在一不含硫环境中进行施加能量的该步骤；或

其中施加能量的该步骤形成该硫属化合物太阳能吸收物，其具有一硫化物浓度梯度。

8.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其中该第一靶材包括：

一第一成分，择自由铜、银和金组成的族群；以及

一第二成分，择自由铝、镓、铟、锌、锡、硒、碲和包括上述一个或多个的化合物组成的族群。

9.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其中该第一靶材包括：

一第一成分，择自由铜、银和金组成的族群；

一第二成分，择自由铝、镓、铟、锌、锡和上述组合组成的族群；以及

一第三成分，择自由硒、碲和包括上述一个或多个的化合物组成的族群。