[发明专利]图案化磁记录盘和制造用于压印盘的母模的方法

权利要求书

1.一种图案化介质垂直磁记录盘，包括：

盘衬底；

多个同心基本圆形的数据道，在该衬底上且被图案化成可磁化材料的离散数据岛，所述道具有跨道方向的道节距TP；以及

多个角间隔开的伺服扇区，在该衬底上且跨越多个数据道基本径向延伸，每个伺服扇区包括相对于数据道倾斜的磁化伺服条纹的第一和第二圆周向相邻的场区，所述伺服条纹的在跨条纹方向上的条纹节距基本等于TP。

2.如权利要求1所述的盘，其中该第一场区中的条纹和该第二场区中的条纹沿不同方向倾斜。

3.如权利要求2所述的盘，其中所述数据道和所述第一场区中的条纹之间的锐角与所述数据道与所述第二场区中的条纹之间的锐角基本相同。

4.如权利要求1所述的盘，其中每个所述磁化条纹包括通过非磁空间分隔开的磁化片段。

5.如权利要求4所述的盘，其中所述磁化片段基本垂直于所述跨道方向取向。

6.如权利要求5所述的盘，其中所述离散数据岛具有沿道方向的位节距BP，所述伺服条纹中的磁化片段的沿道方向的片段节距基本等于BP。

7.如权利要求4所述的盘，其中所述磁化片段基本垂直于所述跨条纹方向取向。

8.如权利要求1所述的盘，其中所述离散数据岛具有比所述磁化条纹的跨条纹宽度更大的跨道宽度。

9.如权利要求1所述的盘，其中所述多个同心数据道布置成多个环形区带。

10.如权利要求1所述的盘，其中所述数据岛和伺服条纹是从衬底延伸的柱。

11.如权利要求10所述的盘，还包括在该数据岛和伺服条纹的柱之间的衬底上的平坦化层。

12.一种制造用于压印磁记录盘的母模的方法，包括：

在具有中心的衬底上形成以环形区带布置的基本径向的径迹的图案，该径迹具有约为nL_rad的圆周向间隔，其中n是等于或大于2的整数；

在径向径迹的图案上形成包括第一嵌段共聚物的材料层，第一嵌段共聚物具有体周期L_rad，由此第一共聚物材料被所述径迹引导以自组装成第一共聚物的第一和第二组分交替的基本径向的线，第一共聚物的第一组分的基本径向的线具有约L_rad的圆周向间隔；

在该衬底上形成同心环的图案和与该同心环的图案角间隔开的平行的非径向的带的图案，该同心环具有约nL_circ的径向间隔，该带具有约nL_circ的带间隔，其中n是等于或大于2的整数；以及

在环和带的图案上形成包括第二嵌段共聚物的材料层，该第二嵌段共聚物具有体周期L_circ，其中L_circ等于或大于2L_rad，由此该第二共聚物材料被所述环和带引导以自组装成第二共聚物的第一和第二组分交替的基本同心的环和该第二共聚物的第一和第二组分交替的平行非径向的条纹。

13.如权利要求12所述的方法，其中在衬底上形成包括第一嵌段共聚物的材料层包括沉积第一嵌段共聚物材料层及退火所沉积的第一嵌段共聚物材料从而导致所述第一嵌段共聚物的所述第一和第二组分的相分离，且其中在所述衬底上形成包括第二嵌段共聚物的材料层包括沉积第二嵌段共聚物材料层及退火所沉积的第二嵌段共聚物材料从而导致所述第二嵌段共聚物的所述第一和第二组分的相分离。

14.如权利要求12所述的方法，还包括，在形成所述同心环的图案和所述平行的非径向的带的图案之前，去除所述第一嵌段共聚物的第二组分的径向线，留下所述第一嵌段共聚物的第一组分的径向线，且沉积保护层在所述第一嵌段共聚物的第一组分的径向线上。