[发明专利]离子发生元件、离子发生单元及离子发生装置有效
申请号: | 201010521620.1 | 申请日: | 2007-06-01 |
公开(公告)号: | CN101950929A | 公开(公告)日: | 2011-01-19 |
发明(设计)人: | 加藤慎滋;宫本利之 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H01T23/00 | 分类号: | H01T23/00;H01T19/04 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 曾旻辉 |
地址: | 日本京都府长冈*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 离子 发生 元件 单元 装置 | ||
1.一种离子发生元件,包括绝缘基板、线状电极以及接地电极,其特征在于,所述绝缘基板包括:
主体部分,所述线状电极设置在该主体部分上,且所述线状电极的末端从该主体部分伸出;
两个从所述主体部分延伸出的延展部,该两个延展部位于所述线状电极末端的两边且与该线状电极相隔一定距离,且在这两个延展部上设置有所述接地电极;
所述两个延展部的尾端之间的距离小于所述两个延展部的其他部分之间的距离。
2.根据权利要求1所述的离子发生元件,其特征在于,所述两个延展部的尾端之间的距离小于或者等于3mm。
3.根据权利要求1至2任意一项所述的离子发生元件,其特征在于,所述线状电极的直径小于或者等于100μm。
4.根据权利要求1至2任意一项所述的离子发生元件,其特征在于,绝缘薄膜覆盖所述接地电极的表面。
5.根据权利要求4所述的离子发生元件,其特征在于,所述绝缘薄膜覆盖所述接地电极的表面,但不覆盖所述接地电极中与所述线状电极的末端相对应的尾端。
6.根据权利要求1至2任意一项所述的离子发生元件,其特征在于,所述接地电极是电阻体。
7.一种离子发生单元,其特征在于,包括:根据权利要求1至2任意一项所述的离子发生元件,该离子发生元件还包括设置在所述绝缘基板上的高压电极,所述线状电极设置在该高压电极上;
第一接线端子,该第一接线端子与所述高压电极连接,且具有一个连接引线的固定部分;
第二接线端子,该第二接线端子与所述接地电极连接,且具有一个连接引线的固定部分;以及
容室,该容室容纳所述离子发生元件、所述第一接线端子与所述第二接线端子。
8.一种离子发生装置,其特征在于,包括:根据权利要求1至2任意一项所述的离子发生元件,及产生负电压的高压电源。
9.一种离子发生装置,其特征在于,包括:
高压电源,该高压电源具有分别与第一接线端子、第二接线端子连接的引线,且该高压电源产生负电压;
根据权利要求7所述的离子发生单元。
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