[发明专利]一种对位平台有效

专利信息
申请号: 201010522747.5 申请日: 2010-10-28
公开(公告)号: CN102029771A 公开(公告)日: 2011-04-27
发明(设计)人: 唐志稳;景建平;刘宏宇 申请(专利权)人: 苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司
主分类号: B32B38/18 分类号: B32B38/18;B32B41/00
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 马明渡
地址: 215121 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 对位 平台
【说明书】:

技术领域

本发明涉及一种机械对位平台,该机械对位平台可作X轴、Y轴及θ轴(即绕Z轴)的三轴运动,特别适用于触膜屏、LCD及PDP制作过程中用的贴膜机的校位机构中。

背景技术

触膜屏,大体结构上由X线膜、Y线膜和保护膜等贴合而成的多层复合膜结构,贴合时通常将一者称为被贴的膜层,而另一者称为载体。触膜屏的制作工艺中,膜层与载体的贴合要求很高,一方面膜层与载体的重合位置需精准,第二贴合后不能有气泡、起皱等问题。

早先,触膜屏的贴合多采用人工贴合方式,通过人工来确定膜层与载体位置的对准,并靠操作者经验控制贴合压力大小。这种方式效率低下,并且贴合质量不易保证,对操作人员的熟练程度的依赖性很大。

因此,后来逐步出现了半自动式触膜屏贴合机,其代表性结构可参见中国专利公报公开号为101581850A,名称为《一种半自动贴合机及其贴合方法》的发明专利申请公布说明书。该专利说明书中公开的半自动式触膜屏贴合机,其工作时膜层与载体的位置对准(即对位)是靠在上、下承截板上预先定下原点位置,然后人工按照该原点来放置膜层和载体,从而间接使上承载板翻盖于下承载板上后,膜层与载体的位置对准。此方法在实际使用中因机械机构存在装配间隙或外力影响,上承载板翻盖于下承截板上这一动作的精度很难保证,从而导致膜层与载体的位置易发生偏差。为解决这个问题,就需在上承载板翻盖于下承截板上后再进行“对位”这一工序,即需要以上承载板为基准来移动下承载板。故,需要一可沿水平X轴、Y轴移动及绕竖直Z轴旋转的对位平台机构来放置下承载板,使下承载板可作沿X轴、Y轴移动及绕Z轴旋转来完成对位。

目前,虽市场上各式机械移动平台有多种多样,但是对于能完成可沿水平X轴、Y轴移动及绕竖直Z轴旋转的三轴运动平台不多,并且其结构上都是三轴独立设计,再叠加为多层的结构,其高度高、体积庞大。

发明内容

本发明目的是提供一种对位平台,使结构更加紧凑,减小设备的高度及体积。

为达到上述目的,本发明采用的第一种技术方案是:一种对位平台,包括一台面,该台面下按一矩形的四角布置四个支承机构;每个支承机构由一支承轴承下设一十字导轨副组成,所述十字导轨副由上导轨、与上导轨十字交叉的下导轨以及滑动连接在上、下导轨间的中间滑块组成;所述支承轴承的上端与台面固定连接,其下端与对应的十字导轨副的上导轨固定连接,而所述十字导轨副的下导轨供固定于安装基面上;

设所述矩形的纵向边的方向为X向,而横向边的方向为Y向;四个支承机构中,位于所述矩形的一条Y向边两端的两支承机构中的十字导轨副的下导轨是沿X向布置的,且这两十字导轨副的中间滑块上各作用有一X向推拉驱动机构;而另有一个支承机构的十字导轨副的下导轨是沿Y方向布置的,且这个十字导轨副的中间滑块上作用有一Y向推拉驱动机构。

本发明采用的第二种技术方案是:一种对位平台,包括一台面,该台面下按一矩形的四角布置四个支承机构;每个支承机构由一支承轴承下设一十字导轨副组成,所述十字导轨副由上导轨、与上导轨十字交叉的下导轨以及滑动连接在上、下导轨间的中间滑块组成;所述支承轴承的上端与台面固定连接,其下端与对应的十字导轨副的上导轨固定连接,而所述十字导轨副的下导轨供固定于安装基面上;

设所述矩形的纵向边的方向为X向,而横向边的方向为Y向;四个支承机构中,有两个对角的支承机构中的十字导轨副的下导轨是沿X向布置的,且这两十字导轨副的中间滑块上各作用有一X向推拉驱动机构;而另有一个支承机构的十字导轨副的下导轨是沿Y方向布置的,且这个十字导轨副的中间滑块上作用有一Y向推拉驱动机构。

上述两种技术方案中的有关内容解释如下:

1、上述方案中,所述“设所述矩形的纵向边的方向为X向,而横向边的方向为Y向”:只是按附图2假设定义,矩形的纵向边和横向边是分指矩形的长、宽两组边,并没有特定纵向边是指长边,而横向边是指宽边,而实际中,纵向边和横向边是可以互换定义,即X向和Y向也可互换。

2、上述方案中,所述台面的对角上开设有销棒穿置孔,并配有销棒,供在初始时以销棒穿于该销棒穿置孔中与安装基面插销固定,来确定台面的初始位置。这里的销棒是用于台面与基面校正,保证工作前台面相对于基面的同心,利于整个校位机构工作时的精度。

3、上述方案中,所述“X向推拉驱动机构”是指沿X向推拉作用的驱动机构,而“Y向推拉驱动机构”是指沿Y向推拉作用的驱动机构。

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