[发明专利]多晶硅10bargHC1尾气的减压制酸工艺

权利要求书

1.一种多晶硅10bargHCl尾气的减压制酸工艺，其特征在于：其生产工艺为：将多晶硅生产尾气回收单元分离提纯的压力为10barg、纯度为99％液态氯化氢，通过一个加热气化器，加热到10～20℃，液态HCl从液态变为气态，然后通过减压装置，将压力为10barg的气态HCl减压至0.1～0.5barg，再将HCl导入喷淋吸收装置进行水吸收，循环逆流多级浓缩吸收，生产制备成浓度为26～31％的盐酸。

2.如权利要求1所述的多晶硅10bargHCl尾气的减压制酸工艺，其特征在于：经过减压装置减压为0.1～0.5barg的HCl，从进气管(1)进入1级喷淋塔，由1级喷淋泵(4)提升的酸液喷淋，溶解吸收氯化氢的酸液经1级回流管(2)进入1级循环槽，然后又被1级喷淋泵(4)提升作循环喷淋；经过喷淋的残余HCl，从进气管(3)进入2级喷淋塔，2级喷淋塔的喷淋水经2级回流管(6)进入2级循环槽，由2级喷淋泵(8)提升至2级喷淋塔作循环喷淋；从2级喷淋塔出来的残余HCl进入3级喷淋塔再进行喷淋，从3级喷淋塔出来的残余HCl进入4级喷淋塔再进行喷淋；经过四级循环吸收，氯化氢浓度越来越高，直至饱和，变成盐酸。

3.如权利要求1、2所述的多晶硅10bargHCl尾气的减压制酸工艺，其特征在于：在1级循环槽中，当氯化氢浓度达到30％时，将1级循环槽的盐酸排入储罐储存，然后打开1级补水阀(5)，将2级循环槽的喷淋水送入1级循环槽；当1级循环槽到达一定液位后，关闭1级补水阀，打开2级补水阀(9)，将3级循环槽的喷淋水送入2级循环槽；当2级循环槽到达一定液位后，关闭2级补水阀(9)，打开3级补水阀(13)，将4级循环槽的喷淋水送入3级循环槽；当3级循环槽到达一定液位后，关闭3级补水阀(13)，打开4级补水阀(16)，向4级循环槽补充清水到指定液位。