[发明专利]喷墨涂敷装置以及方法

说明书

技术领域

本发明涉及通过喷墨涂敷制造柔性材料所使用的卷至卷(roll toroll)方式的喷墨涂敷装置，特别是涉及在设置有非硅类的半导体材料(例如，CIGS薄膜)的太阳能电池膜片上形成电极、绝缘膜等使用的喷墨涂敷装置以及方法。

背景技术

以往，作为印刷装置的一例，已知具备一面进行展皱和宽度方向的对位，一面导入印刷媒质的导入部、与该导入部相邻配置，并与印刷媒质相向配置且用皮带运送印刷媒质的运送部、与印刷媒质相向配置且具有颜色种类数量的多列行扫描头的印刷部、配置在该印刷部上的印刷媒质的运送方向的下游侧，对印刷后的印刷媒质进行干燥的干燥部的印刷装置(例如，参见专利文献1)。

在该印刷装置中，通过多个辊对片状的印刷媒质(例如，卷筒状或收纳在箱中的布帛)进行展皱，进行向运送方向中央的定中心、布纹校正、两端(布帛的两布边)的卷曲纠正。

该情况下，虽然也通过多个辊对布帛施加张力，纠正布帛的两布边的卷曲，但是，张力的方向从构造上看，在布帛的长度方向大，相对于布帛的长度方向，相对于直角方向的两侧边部的卷曲的张力小。

再有，该卷曲纠正是在与印刷在该布帛的部位相比为前位置的运入部进行，在从通过该运入部后直至印刷部的区间以及印刷部的区间，用于布帛的两侧边部的卷曲的纠正的张力成为与暂时被开放接近的状态。

在先技术文献

专利文献

专利文献1日本特开平9-239968号公报

在通过卷至卷方式卷放出并被运送的膜片中，存在其表面蒸镀着半导体材料的部位和没有蒸镀它的部位，因此，膜片的宽度方向的两侧边部成为圆(卷曲)的状态。在为了进行涂敷材料量的涂敷，将这样从卷筒卷放出的膜片用吸附工作台吸附保持时，若像这样在其两侧边部存在卷曲，则膜片难以被平坦地吸附在吸附工作台，存在产生皱褶、松弛的问题。这样，若产生皱褶、松弛，则涂敷用的喷墨等的喷嘴前端面接触膜片，存在喷嘴面受到损伤的可能性。

本发明的目的在于，提供一种消除这样的问题，能够在膜片的两侧边部的卷曲得到纠正的状态下，进行涂敷材料向该膜片的涂敷，能够提高向膜片的涂敷品质的喷墨涂敷装置以及方法。

发明内容

为了实现上述目的，本发明是一种喷墨涂敷装置，所述喷墨涂敷装置由卷放出卷筒状的膜片并进行运送的上游侧的引导辊、吸附保持被卷放出的膜片的吸附工作台、将液状的涂敷材料涂敷在被吸附工作台吸附保持的膜片上的涂敷头、运送涂敷有涂敷材料的膜片并卷绕成卷筒状的下游侧的引导辊构成，特征在于，设置将膜片的被载置在吸附工作台的吸附面上的涂敷对象区域的两侧边部向吸附工作台的吸附面推压，并向吸附工作台的侧边侧扩开的卷曲校正罩，也由卷曲校正罩校正膜片的在涂敷对象范围中的两侧边部上产生的卷曲部，使涂敷对象范围整体为平坦状，并一样地吸附保持在吸附工作台的吸附面上。

另外，特征在于，吸附工作台的吸附面相对于与膜片的运送方向垂直的方向，被划分成中央部区域和中央区域的两侧的周边区域，具备控制中央部区域的真空吸附孔的动作和周边区域的真空吸附孔的动作的控制部，通过控制部的控制，在膜片的涂敷对象范围向吸附工作台载置的同时，使中央区域的真空吸附孔动作，对涂敷对象范围的与中央区域相向的区域进行真空吸附保持，在卷曲校正罩进行的对在吸附工作台上载置的膜片的涂敷对象范围的两侧边部的卷曲校正的同时，使周边区域的真空吸附孔动作，对涂敷对象范围的与周边区域相向的区域进行真空吸附保持。

再有，特征在于，具备对真空吸附在吸附工作台上的膜片的从吸附工作台的吸附面的上浮进行检测的构件。

再有，特征在于，具备用于对通过卷曲校正罩将膜片的涂敷对象范围的两侧边部向吸附工作台的两侧边部侧扩张的力进行调节的、对驱动卷曲校正罩的升降动作的升降缸的空气压力进行调整的构件。

为了实现上述目的，本发明是一种喷墨涂敷方法，所述喷墨涂敷方法通过上游侧的引导辊卷放出并运送被盘绕成卷筒状的膜片，将被卷放出的膜片的涂敷对象范围搭载在吸附工作台的吸附面上，通过涂敷头将液状的涂敷材料向膜片的涂敷对象范围涂敷，由下游侧的引导辊运送涂敷了涂敷材料的膜片，并卷绕成卷筒状，特征在于，由卷曲校正罩将搭载在吸附工作台的吸附面上的膜片的涂敷对象范围的两侧边向吸附面推压并向吸附工作台的侧边侧扩开，吸附保持在吸附面上。

发明效果