[发明专利]面接触式石英舟

权利要求书

1.一种面接触式石英舟，其特征是：包括两根水平设置的上石英分隔挡杆(1)、两根水平设置的下石英分隔挡杆(2)、左U形侧面连接件(3)、右U形侧面连接件(4)、把手(5)、支撑杆(6)和防污挡板(7)，两根上石英分隔挡杆(1)的两端分别固定在左U形侧面连接件(3)和右U形侧面连接件(4)上，两根下石英分隔挡杆(2)的两端分别固定在左U形侧面连接件(3)和右U形侧面连接件(4)的下端，在两根下石英分隔挡杆(2)的下方固定有二根以上的支撑杆(6)，支撑杆(6)的底部为平面，且两根上石英分隔挡杆(1)之间的距离与硅片的宽度尺寸相当；在左U形侧面连接件(3)和右U形侧面连接件(4)上都设有把手(5)，在上石英分隔挡杆(1)和下石英分隔挡杆(2)上均开设有硅片卡槽(9)，硅片(8)间隔地插在硅片卡槽(9)中，在靠近把手端各插有一块防污挡板(7)。

2.根据权利要求1所述面接触式石英舟，其特征是：在硅片卡槽(9)的上口设有扩展角Φ，Φ在45°～90°之间。

3.根据权利要求1或2所述面接触式石英舟，其特征是：硅片卡槽(9)的中心线方向与石英分隔挡杆轴线之间夹角β为87°～88°。