[发明专利]一种基于泰伯效应的非球面检测系统

权利要求书

1.一种基于泰伯效应的非球面检测系统，其特征在于包括半导体激光器(1)、显微物镜(2)、准直物镜(3)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)、待测非球面镜(6)、分光棱镜(7)、第一光栅(8)、第二光栅(9)、毛玻璃片(10)、CCD相机(11)、图像采集卡(12)、计算机(13)和挡光板(14)。半导体激光器(1)发出的光束经显微物镜(2)和准直物镜(3)准直扩束后，照射到第一反射镜(4)，第一反射镜(4)的反射光束由分光棱镜(7)分成两路光束，在其中一路光束的光轴上依次放置待测非球面镜(6)和第二反射镜(5)，另一路光束的光轴上依次放置第一光栅(8)、第二光栅(9)、毛玻璃(10)和CCD相机(11)，CCD相机(11)的信号输出端经图像采集卡(12)与计算机(13)相连，挡光板(14)位于显微物镜(2)、准直物镜(3)和第一光栅(8)、第二光栅(9)、毛玻璃片(10)之间。

2.根据权利要求书1所述的非球面检测系统，其特征在于，所述第一光栅(8)是结构均匀的周期性线形光栅，周期为10～20微米，厚度为0.5～3毫米。

3.根据权利要求书1所述的非球面检测系统，其特征在于，所述第二光栅(9)是结构均匀的周期性光栅，周期为第一光栅8的1～3倍，厚度为0.5～3毫米。

4.根据权利要求1所述的非球面检测系统，其特征在于，所述待测非球面镜(6)由二维导轨平台夹持，实现二维移动。