[发明专利]一种栅控行波管栅极的制作工艺及其模压磨具

权利要求书

1.一种栅控行波管栅极的制作工艺，其特征在于：包括以下工序；表面清洁处理→表面涂感光胶→表面干燥处理→照相曝光→显影→表面干燥处理→刻蚀→去胶→模压成形→去应力退火；具体步骤为：

a.表面清洁处理

具体工艺为：①用乳膏状的MgO在铪基底表面均匀涂擦以去除和吸附基底表面杂质粘接物；②用CrO₃及H₂SO₄配置成1∶1的溶液，将涂擦后的栅网浸洗20～30秒；③将浸洗后的栅网取出后放入丙酮溶液中清洗脱水3分钟；④取出脱水后的栅网，用干燥空气吹干表面上的丙酮；

b.表面涂感光胶

将表面清洁干净的栅网放置在高速旋转的甩胶机旋转台上，抽真空，向栅网表面滴感光胶，胶层厚度控制在0.8～0.9um；

c.表面干燥处理

在温度为90±2℃的环境中保温15min进行干燥处理；

d.照相曝光

在紫外光照射下曝光，曝光时间为60秒；

e.显影

将3％的NaP溶液加热到190±2℃，将曝光好的栅极浸泡其中10分钟进行显影；

f.表面干燥处理

在温度为120±2℃的环境中保温25min进行干燥处理；

g.刻蚀

用FeCl₃、H₂O₂、HNO₃配成腐蚀液，腐蚀液的质量配比按照实际需求确定；控制所配溶液的腐蚀速度达2.5μm/s； 

h.去胶

用超生波清洗脱胶，清洗时间为5分钟以上；

i.模压成形

去完胶的栅极仍然是平面结构，通过模压成为最终的球缺形结构；

j.去应力退火

为消除栅网在压制成形过程中产生的机械应力，需进行去应力退火处理，退火温度为950℃，保温时间为10分钟；为防止变形，在退火时需要用工装将栅网压紧。

2.按照权利要求1所述的栅控行波管栅极的制作工艺，其特征在于：所述步骤i中模压定型温度为350℃，模压时间为5秒，定型时间为1分钟。

3.按照权利要求1所述的栅控行波管栅极的制作工艺，其特征在于：所述步骤g中，腐蚀液中溶质的质量配比：FeCl₃∶H₂O₂∶HNO₃为5∶4∶1。

4.一种实现权利要求1所述的栅控行波管栅极的制作工艺所用的模压模具，其特征在于：其包括底座(1)、定位膜(2)、外球面膜(3)、内球面膜(4)及钢珠(5)，所述定位膜(2)置于底座(1)上，所述定位膜(2)为中空结构，所述外球面膜(3)一端置于定位膜(2)内部底端并与底座(1)相接，外球面膜(3)的另一端为球面结构，所述内球面膜(4)的一端上具有球孔，钢球(5)设于内球面膜(4)的球孔内，内球面膜(4)的另一端表面为球面结构，内球面膜(4)置于定位膜(2)内，内球面膜(4)球面的一端与外球面膜(3)球面的一端相接。