[发明专利]加速度传感器

权利要求书

1.一种加速度传感器，其特征在于，该加速度传感器具备：

第1感应元件，其具有：第1振动梁；所述第1振动梁的长度方向两端的基端部；以及形成在所述第1振动梁的表面上的激励电极，该激励电极用于以弯曲振动模式对该第1振动梁进行激励；

支撑部，其与各个所述基端部分别结合，以支撑所述第1感应元件；

连接部，其从一方的所述基端部起，在与所述第1振动梁相同的轴上，朝着与所述第1振动梁相反的方向延伸而设置在所述基端部与所述支撑部之间，并且，该连接部具有沿着所述第1振动梁的长度方向形成的薄壁部；以及

施重部，其与所述一方的基端部结合而配置在所述第1感应元件的宽度方向两侧，并沿着所述第1感应元件的长度方向朝着另一方的所述基端部侧延伸。

2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，

该加速度传感器还具有：第2和第3感应元件，它们左右对称地配置在所述施重部的宽度方向两侧；以及第2和第3支撑部，它们用于分别支撑所述第2和第3感应元件，

所述第2和第3感应元件分别具有沿着所述施重部与所述第1振动梁平行地延伸的第2和第3振动梁，所述第2和第3振动梁分别在长度方向上的与所述连接部相反的一侧的基端部处与相邻的所述施重部结合，并且分别在长度方向上的所述连接部侧的基端部处与所述第2和第3支撑部结合。

3.根据权利要求1或2所述的加速度传感器，其特征在于，

所述第1感应元件具有平行地延伸的2个所述第1振动梁。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的加速度传感器，其特征在于，

所述支撑部由围绕所述感应元件和所述施重部的外侧的1个支撑框构成。