[发明专利]传输腔室的压强控制方法、装置及等离子体设备

权利要求书

1.一种传输腔室的压强控制方法，其特征在于，包括：

采集传输腔室的当前压强，并获取所述当前压强所在预置数据采集周期内的压强变化率；

判断所述当前压强是否处于预置目标压强范围内，若否，则根据所述当前压强、所述压强变化率和传输腔室内预置稳定充气流量，获取当前充气流量；

并根据所述当前充气流量控制充气阀的打开状态，向传输腔室内充气。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

若所述当前压强处于预置目标压强范围内，则判断所述压强变化率的绝对值是否小于等于预置目标压强变化率；

若是，则控制充气阀以当前的打开状态向传输腔室内充气。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，还包括：

若所述压强变化率的绝对值大于预置目标压强变化率，则根据所述当前压强、所述压强变化率和传输腔室内预置稳定充气流量，获取当前充气流量；

并根据所述当前充气流量控制充气阀的打开状态，向传输腔室内充气。

4.如权利要求1-3任一所述的方法，其特征在于，在上述判断所述当前压强是否处于预置目标压强范围内的步骤之前，还包括：

判断传输腔室内的所述当前压强是否小于等于预置压强上限值，若否，则关闭所述充气阀；若是，则执行上述判断所述当前压强是否处于预置目标压强范围内的步骤。

5.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述当前压强、所述压强变化率和传输腔室内预置稳定充气流量，获取当前充气流量，具体为：

V_t＝V₀±K_t×k；

其中，V_t为所述当前充气流量；V₀为所述预置稳定充气流量，其代表传输腔室的压强维持在所述预置目标压强范围时的充气流量；K_t为所述当前压强所在预置数据采集周期内的压强变化率；k为流量转换系数；

当所述当前压强小于所述预置压强上限值、大于所述预置目标压强，且所述预置数据采集周期内的压强呈下降趋势时，上述公式取“+”；

当所述当前压强小于所述预置目标压强，且所述预置数据采集周期内的压强呈下降趋势时，上述公式取“-”；

当所述当前压强小于所述预置压强上限值、大于所述预置目标压强，且所述预置数据采集周期内的压强呈上升趋势时，上述公式取“-”；

当所述当前压强小于所述预置目标压强，且所述预置数据采集周期内的压强呈上升趋势时，上述公式取“+”。

6.一种传输腔室的压强控制装置，其特征在于，包括：

采集模块，用于采集传输腔室的当前压强；

第一获取模块，用于获取所述当前压强所在预置数据采集周期内的压强变化率；

第一判断模块，用于判断所述当前压强是否处于预置目标压强范围内；

第二获取模块，用于在所述第一判断模块判断所述当前压强处于预置目标压强范围之外后，根据所述当前压强、所述压强变化率和传输腔室内预置稳定充气流量，获取当前充气流量；

控制模块，用于根据所述当前充气流量控制充气阀的打开状态，向传输腔室内充气。

7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，还包括：

第二判断模块，用于在所述第一判断模块判断所述当前压强处于预置目标压强范围内后，判断所述压强变化率的绝对值是否小于等于预置目标压强变化率；

且由所述控制模块在所述第二判断模块判断所述压强变化率的绝对值小于等于预置目标压强变化率后，控制充气阀以当前的打开状态向传输腔室内充气。

8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，所述第二获取模块还用于在所述第二判断模块判断所述压强变化率的绝对值大于预置目标压强变化率后，根据所述当前压强、所述压强变化率和传输腔室内预置稳定充气流量，获取当前充气流量；

并由所述控制模块根据所述当前充气流量控制充气阀的打开状态，向传输腔室内充气。