[发明专利]一种贴片式固体激光器及其制造方法

权利要求书

1.一种贴片式固体激光器，包括LD泵浦光源以及谐振腔体，其特征在于，所述LD泵浦光源是光纤整形压缩的LD泵浦光源，所述谐振腔体包括互相平行的激光晶体和倍频晶体，所述激光晶体的入光面和所述倍频晶体的出光面构成平平腔，并且，所述LD泵浦光源、所述激光晶体和所述倍频晶体都固定在同一激光器基板上。

2.根据权利要求1所述的贴片式固体激光器，其特征在于，所述激光器基板上设置有互相平行的两条基准线，所述基准线用于在放置所述激光晶体和倍频晶体时，使所述基准线分别与所述激光晶体入光面的边缘和所述倍频晶体出光面的边缘重合。

3.根据权利要求2所述的贴片式固体激光器，其特征在于，所述激光晶体与所述激光器基板、所述倍频晶体与所述激光器基板之间的垂直度小于5″。

4.根据权利要求3所述的贴片式固体激光器，其特征在于，所述激光晶体和所述倍频晶体之间的平行度不大于2.5mrad。

5.根据权利要求1-4任一所述的贴片式固体激光器，其特征在于，所述激光晶体为Nd:YVO₄晶体，所述倍频晶体为PPLN晶体。

6.根据权利要求5所述的贴片式固体激光器，其特征在于，所述激光晶体以及所述倍频晶体的通光面上分别镀有对应波段的增透膜和高反膜。

7.一种贴片式固体激光器的制造方法，用于制造权利要求1所述的贴片式固体激光器，其特征在于，包括下列步骤：

(a)将LD泵浦光源固定在所述激光器基板上；

(b)使所述激光晶体与所述倍频晶体分别垂直预贴到所述激光器基板上，并使激光器基板上的两条基准线分别位于所述激光晶体的入射面与所述倍频晶体的出光面内；

(c)将所述激光晶体、所述倍频晶体与所述激光器基板固定在一起。

8.根据权利要求7所述的贴片式固体激光器的制造方法，其特征在于，在步骤(c)之前，还包括：

判断所述激光晶体和所述倍频晶体之间的平行度；如果平行度不大于2.5mrad，则执行步骤(c)；以及，如果平行度大于2.5mrad，则对所述激光晶体的入光面和所述倍频晶体的出光面分别进行精磨抛光。

9.根据权利要求7所述的贴片式固体激光器，其特征在于，在步骤(b)中，所述激光晶体与所述激光器基板、所述倍频晶体与所述激光器基板之间的垂直度小于5″。