[发明专利]气浮轴承的刚度测试装置有效

专利信息
申请号: 201010530570.3 申请日: 2010-11-03
公开(公告)号: CN102455249A 公开(公告)日: 2012-05-16
发明(设计)人: 贾海立;朱岳彬;韩良华;王茜 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: G01M13/04 分类号: G01M13/04
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 轴承 刚度 测试 装置
【权利要求书】:

1.一种气浮轴承的刚度测试装置,其特征在于,包括平台、显示仪表、加载机构和龙门架;

被测组件设置在所述平台的上表面上,所述平台的上表面为气浮面,该被测组件与所述平台之间形成气浮轴承;

所述龙门架安装在所述平台上;

所述加载机构安装在所述龙门架上,对所述被测组件施加加载力;

所述显示仪表与所述加载机构连接,该显示仪表实时显示所述加载机构施加的加载力。

2.如权利要求1所述的气浮轴承的刚度测试装置,其特征在于,还包括导轨和导轨定位块;

所述导轨通过所述导轨定位块固定设置在所述平台上,所述导轨为气浮导轨;

所述被侧组件的一侧面紧贴所述导轨的侧面时,该被测组件与所述平台和所述导轨之间均形成气浮轴承。

3.如权利要求1或2所述的气浮轴承的刚度测试装置,其特征在于,所述龙门架包括两根立柱、一横梁和一侧梁;

所述横梁的两端分别设置在所述两根立柱的顶端;

所述侧梁的两端分别与所述两根立柱连接;

所述两根立柱分别安装在所述平台的两个相对侧表面上。

4.如权利要求3所述的气浮轴承的刚度测试装置,其特征在于,所述横梁上设有偏心槽,所述偏心槽用于安装所述加载机构;所述两根立柱上均设有安装长槽,所述安装长槽用于连接所述侧梁;所述侧梁上设有安装长槽,所述安装长槽用于连接所述加载机构。

5.如权利要求3所述的气浮轴承的刚度测试装置,其特征在于,所述平台的两个相对侧表面上设有多个安装孔,所述安装孔用于连接所述龙门架的立柱。

6.如权利要求5所述的气浮轴承的刚度测试装置,其特征在于,所述两个立柱上均设有安装孔,所述两个立柱上的安装孔与所述平台的两个相对侧表面上的安装孔相匹配,用于连接所述平台。

7.如权利要求1或2所述的气浮轴承的刚度测试装置,其特征在于,所述加载机构由上安装夹板和下安装夹板夹持安装在所述龙门架上,包括套筒、粗调螺母、粗调弹簧、顶针、直线轴承、力传感器、关节轴承和铰链座;

所述套筒固定安装在所述下安装夹板上;

所述粗调螺母穿过所述下安装夹板,该粗调螺母与所述下安装夹板螺纹连接;

所述粗调弹簧设置在所述粗调螺母的底端,所述粗调弹簧以及所述粗调螺母的下部设置在所述套筒内;

所述顶针的上部设置在所述粗调螺母和粗调弹簧内,该顶针的轴肩与所述粗调弹簧的底端连接;

所述顶针的底端穿过与所述套筒底端连接的直线轴承,连接所述力传感器;

所述关节轴承连接在所述力传感器的底端;

所述铰链座通过铰链销与所述关节轴承连接;

所述加载机构通过所述铰链座与所述被测组件接触施加加载力。

8.如权利要求7所述的气浮轴承的刚度测试装置,其特征在于,所述加载机构还包括微调螺钉和微调弹簧,所述微调弹簧设置在所述微调螺钉的底端,所述微调螺钉的下部以及微调弹簧的上部设置在所述粗调螺母内,所述微调螺钉与所述粗调螺母螺纹连接,所述顶针的上部穿过所述微调弹簧,该顶针与所述微调弹簧的底端连接。

9.如权利要求8所述的气浮轴承的刚度测试装置,其特征在于,所述加载机构还包括导向螺钉,所述导向螺钉的一端穿过所述套筒顶在所述顶针的轴肩上。

10.如权利要求1所述的气浮轴承的刚度测试装置,其特征在于,所述显示仪表为多通道显示仪表,该显示仪表通过数据线与所述加载机构的力传感器连接。

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