[发明专利]风机控制系统及控制方法

说明书

【技术领域】

本发明涉及一种风机控制系统及控制方法，尤其涉及一种半导体化学气相淀积(APCVD)机台风机控制系统及控制方法。

【背景技术】

半导体产品制造过程中，化学气相淀积工序是在化学气相淀积(APCVD)机台中完成的。

半导体产品在化学气相淀积机台淀积过程中，会有粉尘(二氧化硅副产物)产生。化学气相淀积机台通过设置在附属栋的风机将产生的粉尘抽出，经集尘箱收集后进行集中处理。

但是，风机在使用过程中会因为零部件异常、使用寿命、电力系统异常等问题，导致风机转速减慢甚至停转，不能正常进行排风将粉尘抽出，使粉尘大量掉落在机台内部正在生产的产品表面，造成产品报废。

为防止风机异常造成产品报废，通常采用根据风机异常周期定期更换风机的措施来解决。但是，由于风机存在个体差异，寿命不同，且受使用方式和环境的影响，无法准确掌握风机的异常周期，定期更换风机无法避免因风机零部件异常、使用寿命、电力系统等造成的风机故障异常，还会增加费用。而且，定期更换风机需消耗大量时间，影响整个机台的性能，延长机台的保养时间，降低机台的效率，对整个机台造成影响。

【发明内容】

有鉴于此，有必要提供一种防止风机异常造成产品报废的风机控制系统。

此外，还有必要提供一种防止风机异常造成产品报废的风机控制方法。

一种风机控制系统，包括：

监测模块，用来实时监测并获取风机的排风量；

比较模块，接收获取的风机的排风量，与设定排风量进行比较，获取比较结果；

控制模块，接收并根据比较结果，在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施。

优选的，所述监测模块采用转速侦测器，监测并获取风机的转速，通过所述转速监测并获取风机的排风量。

优选的，所述监测模块采用风速测量器，监测风机的风速，通过风速获取风机的排风量。

优选的，所述系统还包括备用排风设备；所述控制模块在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施具体为：所述控制模块控制机台停止向机台内传送产品并向备用排风设备发出控制命令，控制备用排风设备开启。

优选的，所述备用排风设备包括设置在风机出口端并连接厂务排风系统的排风管以及控制排风管与厂务排风系统连通和阻断的开关阀。

优选的，所述系统还包括报警模块；所述控制模块风机的排风量低于设定排风量时控制模块控制报警模块发出报警信号，进行报警，所述系统还包括显示模块，用于对风机的排风量、比较结果以及报警信号进行显示。

本发明还涉及一种风机控制方法，包括如下步骤：

实时监测并获取风机的排风量；

接收获取的风机的排风量，与设定排风量进行比较，获取比较结果；

接收并根据比较结果，在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施。

优选的，所述实时监测并获取风机的排风量的步骤具体为：采用转速侦测器，实时监测并获取风机的转速，通过转速监测并获取风机的排风量。

优选的，所述接收并根据比较结果，在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施的步骤具体为：增设备用排风设备，在风机排风量低于设定排风量时，控制机台停止向机台内传送产品并向备用排风设备发出控制命令，控制备用排风设备开启。

优选的，所述接收并根据比较结果，在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施的步骤还包括发出报警信号进行报警的步骤。

上述风机控制系统及控制方法，实时监测并获取风机的排风量，将风机的排风量与设定排风量进行比较获取比较结果，根据比较结果在风机的排风量小于设定排风量时采取安全处理措施，使得风机的排风量在低于满足安全生产的设定排风量时及时采取安全处理措施，使粉尘不会掉落在机台中正在生产的产品上，保证了产品的安全生产，避免产品报废。同时，有效的对每个风机进行监控，降低了风机更换频率，提高了机台效率，大大节约了成本。

【附图说明】

图1是一个实施例中风机控制系统结构示意图；

图2是一个实施例中风机控制方法流程图。

【具体实施方式】

下面结合附图，对本发明的具体实施方式进行详细描述。

图1是一个实施例中风机控制系统结构示意图。该风机控制系统包括监测模块110、比较模块120、控制模块130、备用排风设备140、报警模块150以及显示模块160。

监测模块110用来实时监测并获取风机的排风量。