[发明专利]一种废水排放控制系统以及废水排放系统

说明书

【技术领域】

本发明涉及一种废水排放控制系统以及废水排放系统。

【背景技术】

化学机械抛光是一种对圆片进行平坦化加工的工艺。化学机械抛光设备在跑货时，使用NH₄OH对圆片进行清洗，产生包含氨水的污水，而不跑货只产生工艺水(Ultra pure water，UPW)。传统化学机械抛光设备所产生的废水(包括氨水和工艺水)均接入氨水排放管路，最终一起流入氨水处理系统。而实际上只有氨水才需要排放到氨水处理系统中，工艺水不需要进行特别处理。

【发明内容】

基于此，有必要提供一种将氨水和工艺水排放到不同管路的废水排放控制系统。

此外，还提供一种将氨水和工艺水排放到不同管路的废水排放系统。

一种废水排放控制系统，包括污水排放管路，此外，还包括工艺水排放管路以及控制单元，所述控制单元根据系统控制信号分别控制污水排放管路和工艺水排放管路的开启和关闭。

优选的，所述污水排放管路和工艺水排放管路上分别设置气动阀门，所述控制单元通过控制所述气动阀门实现污水排放管路和工艺水排放管路的开启和关闭。

优选的，所述系统控制信号包括产生污水时的污水排放信号和停止产生污水时的工艺水排放信号；

所述控制单元根据所述污水排放信号，开启设置在污水排放管路上的气动阀门，关闭设置在工艺水排放管路上的气动阀门；所述控制单元根据所述工艺水排放信号，关闭设置在污水排放管路上的气动阀门，开启设置在工艺水排放管路的气动阀门。

优选的，其特征在于，所述控制单元包括接收系统控制信号的可编程控制器和控制所述气动阀门开启和关闭的电磁阀。

一种废水排放系统，包括产生废水并发出系统控制信号的化学机械抛光设备、与所述化学机械抛光设备连接的污水排放管路，此外，还包括与所述化学机械抛光设备连接的工艺水排放管路以及控制单元，所述控制单元根据系统控制信号分别控制污水排放管路和工艺水排放管路的开启和关闭。

优选的，所述污水排放管路和工艺水排放管路上分别设置一气动阀门，所述控制单元通过控制所述气动阀门实现污水排放管路和工艺水排放管路的开启和关闭。

优选的，所述系统控制信号包括产生污水时的污水排放信号和停止产生污水时的工艺水排放信号；

所述控制单元根据所述污水排放信号，开启设置在污水排放管路上的气动阀门，关闭设置在工艺水排放管路上的气动阀门；所述控制单元根据所述工艺水排放信号，关闭设置在污水排放管路上的气动阀门，开启设置在工艺水排放管路的气动阀门。

优选的，所述控制单元包括接收系统控制信号的可编程控制器和控制所述气动阀门开启和关闭的电磁阀。

优选的，所述废水排放系统还包括与污水排放管路连接并对污水进行无害化处理的污水处理管路。

优选的，所述废水排放系统还包括与工艺水排放管路连接并将排出的工艺水回收的回收管路。

这种废水排放系统让化学机械抛光设备废水合理排放，不仅降低了废水处理系统的工作压力，还能对工艺水进行回收，降低了系统运行成本的同时节省了资源。

【附图说明】

图1为废水排放控制系统的一实施例的结构图。

图2为废水排放系统的一实施例的结构图。

【具体实施方式】

下面主要结合附图对废水排放控制系统、废水排放系统进行进一步的说明。

如图1所示的废水排放控制系统，包括污水排放管路120、工艺水排放管路130、可编程控制器140、电磁阀150和分别设置在污水排放管路和工艺水排放管路上的气动阀门162、164。

上述废水排放控制系统的可编程控制器140接收系统控制信号，并将接收到的系统控制信号发送给电磁阀150，电磁阀150根据系统控制信号控制气动阀门142、144的开启和关闭。

如图2所示的一种废水排放系统，包括化学机械抛光设备210、与化学机械抛光设备210连接的污水排放管路220、与化学机械抛光设备210连接的工艺水排放管路230、接收系统控制信号并将所述系统控制信号发出的可编程控制器240、接收可编程控制器240发出的系统控制信号的电磁阀250和分别设置在污水排放管路220和工艺水排放管路130上用来控制管路开启和关闭的两个气动阀门262、264，电磁阀250控制气动阀门262、264的开启和关闭。

优选的，废水排放系统还包括与污水排放管路连接的对污水进行无害化处理的污水处理管路和与工艺水排放管路连接并将排出的工艺水回收的回收管路。