[发明专利]数字式电液伺服泵控制的超精密动静压轴承及超微进给机构

权利要求书

1.一种数字式电液伺服泵控制的超精密动静压轴承及超微进给机构，包括有分别通过9个小孔节流器（2）向主轴机构（3）供油的第一供油系统（1），其特征在于，还设置有向主轴结构（3）中的前定心静压轴承（B）供油的第二供油系统（16）；所述主轴结构（3）是由主轴（4）、套在主轴（4）前端的前定心动静压轴承套（8）、套在主轴（4）后端的后定心动静压轴承套（11）和设置在主轴（4）前端设定位置的静压止推轴承（6）及法兰（5）构成；所述前定心动静压轴承套（8）和后定心动静压轴承套（11）的内周面上各设置有均布的四个承压槽（12）和四个回油槽（13），后定心动静压轴承套（11）的四个承压槽（12）由所述第一供油系统（1）通过四个节流器（2）供油，所述前定心动静压轴承套（8）的垂直方向的两个承压槽（12）由所述第一供油系统（1）通过节流器（2）供油，而水平方向的两个承压槽（12）中的一个由第二供油系统（16）供油，另一个仍由第一供油系统（1）通过节流器（2）供油；所述的前定心动静压轴承套（8）和后定心动静压轴承套（11）的四个回油槽（13）均与油箱（14）相通；所述的静压止推轴承（6）经由小孔节流器（2）由第一供油系统（1）供油。

2.根据权利要求1所述的数字式电液伺服泵控制的超精密动静压轴承及超微进给机构，其特征是：所述的第二供油系统（16）包括有通过油路依次相连的油箱（34）、粗滤油器（33）、泵（15）和精密油滤器（35），所述的泵（15）连接伺服电机（32），所述的伺服电机（32）是通过依次连接第二放大器（10）及比较器（19）接收控制指令信号（L）来驱动泵（15），所述的精密油滤器（35）的输出通过油路连接所述的前定心动静压轴承套（8）水平方向的两个承压槽（12）中的一个，所述的泵（15）和伺服电机（32）构成数字式电液伺服泵。

3.根据权利要求2所述的数字式电液伺服泵控制的超精密动静压轴承及超微进给机构，其特征是：所述的前定心动静压轴承套（8）水平方向的两个承压槽（12）中由供油系统（1）供油的那个承压槽（12）处设置有一精密压力传感器（17），所述的精密压力传感器（17）通过第一放大器（18）与比较器（19）相连。

4.一种数字式电液伺服泵控制的超精密动静压轴承及超微进给机构，包括有分别通过3个小孔节流器（2）向主轴机构（3）供油的第一供油系统（1），其特征在于，还设置有向主轴结构（3）中的前定心静压轴承（B′）供油的第二供油系统；所述主轴结构（3）是由主轴（4）、套在主轴（4）前端的前定心动静压轴承套（8′）、套在主轴（4）后端的后定心动静压轴承套（11）和设置在主轴（4）前端设定位置的静压止推轴承（6）及法兰（5）构成；所述前定心动静压轴承套（8′）的内周面上设置有3对共6个均布承压槽（12）和六个回油槽（13），所述每对承压槽（12）中的一个承压槽（12）是由第一供油系统（1）供油，与该承压槽对应的另一个承压槽（12）是由第二供油系统供油，所述的六个回油槽（13）均与油箱（14）相通；所述的静压止推轴承（6）经由小孔节流器（2）由第一供油系统（1）供油。

5.根据权利要求4所述的数字式电液伺服泵控制的超精密动静压轴承及超微进给机构，其特征是：所述的第二供油系统包括有分别对应的向三个承压槽（12）供油的三个相同结构的数字式供油系统，所述的数字式供油系统包括有通过油路依次连接的油箱（34）、粗滤油器（33）、泵（15）和精密油滤器（35），所述的泵（15）连接伺服电机（32），所述的伺服电机（32）是通过依次连接第二放大器（10）及比较器（19）接收控制指令信号（L）来驱动泵（15），所述的精密油滤器（35）的输出通过油路连接所述的承压槽（12），所述的泵（15）和伺服电机（32）构成数字式电液伺服泵。

6.根据权利要求4所述的数字式电液伺服泵控制的超精密动静压轴承及超微进给机构，其特征是：所述的由第一供油系统（1）供油的三个承压槽（12）处各设置1个精密压力传感器（17），每一个精密压力传感器（17）通过一个第一放大器（18）与比较器（19）相连。