[发明专利]磁石单元及包括其的喷镀装置

权利要求书

1.一种磁石单元，其特征在于，包括：

至少一个中央磁石；及，

至少一个周边磁石，其围绕该中央磁石的周边而设置，

在该中央磁石及该周边磁石中至少一个磁石在该中央磁石的长度方向或者在垂直于该长度方向的方向上往返移动。

2.根据权利要求1所述的磁石单元，其特征在于，该中央磁石与该周边磁石分别以不同方向往返移动。

3.根据权利要求1所述的磁石单元，其特征在于，在该周边磁石的外侧设置有至少一个辅助磁石，该辅助磁石与该中央磁石及该周边磁石中的一个磁石形成闭环形磁场。

4.一种磁石单元，其特征在于，包括：

至少一个中央磁石；

至少一个周边磁石，其围绕该中央磁石的周边而设置；及，

至少一个辅助磁石，其位于该周边磁石外侧该中央磁石的两侧末端。

5.根据权利要求4所述的磁石单元，其特征在于，该辅助磁石在该中央磁石的长度方向上周期性往返移动。

6.根据权利要求4所述的磁石单元，其特征在于，该辅助磁石在垂直于该中央磁石的长度方向的方向上周期性往返移动。

7.根据权利要求4所述的磁石单元，其特征在于，该辅助磁石为不同极性的磁石的结合，其通过周期性旋转，与该中央磁石具有相同极性或者不同极性。

8.根据权利要求4所述的磁石单元，其特征在于，该辅助磁石包括具有预定间隔的第1辅助磁石及第2辅助磁石，该第1辅助磁石和该第2辅助磁石中的至少一个磁石周期性旋转。

9.根据权利要求8所述的磁石单元，其特征在于，该第1辅助磁石和该第2辅助磁石结合有不同极性的磁石，该第1辅助磁石和该第2辅助磁石的相同极性分别与该中央磁石相对设置。

10.根据权利要求8所述的磁石单元，其特征在于，该第1辅助磁石和该第2辅助磁石结合有不同极性的磁石，该第1辅助磁石和该第2辅助磁石的不同极性分别于该中央磁石相对设置。

11.根据权利要求9或10所述的磁石单元，其特征在于，该第1辅助磁石及该第2辅助磁石在该中央磁石的长度方向上或者在垂直于该长度方向的方向上周期性地往返移动。

12.根据权利要求4所述的磁石单元，其特征在于，该中央磁石及该周边磁石中至少一个磁石在该中央磁石的长度方向上周期性往返移动。

13.根据权利要求4所述的磁石单元，其特征在于，该中央磁石及该周边磁石中至少一个磁石在垂直于该中央磁石的长度方向的方向上周期性往返移动。

14.一种喷镀装置，其特征在于，包括：

磁石单元，其包括至少一个中央磁石和围绕该中央磁石周边的至少一个周边磁石；

支架，该中央磁石及该周边磁石中至少一个固定设置于该垫板；

磁石单元移动装置，其用于周期性移动该中央磁石及该周边磁石中至少一个磁石；

对象，其与该磁石单元对向设置；及，

垫板，该对象固定于该垫板。

15.根据权利要求14所述的喷镀装置，其特征在于，该磁石单元还包括至少一个辅助磁石，该辅助磁石设置于该周边磁石的外侧该中央磁石的两侧末端。

16.根据权利要求14所述的喷镀装置，其特征在于，该辅助磁石被固定设置。

17.根据权利要求14所述的喷镀装置，其特征在于，该辅助磁石在该中央磁石的长度方向上或者在垂直于该长度方向的方向上周期性往返移动。

18.根据权利要求14所述的喷镀装置，其特征在于，该辅助磁石结合有相不同极性的磁石，并且该辅助磁石周期性旋转。

19.根据权利要求18所述的喷镀装置，其特征在于，该辅助磁石具有结合有相不同极性的第1辅助磁石及第2辅助磁石。

20.根据权利要求14所述的喷镀装置，其特征在于，该磁石单元为2个以上并列设置。