[发明专利]一种光电信号传输方法、光电传感器及微电子加工设备

权利要求书

1.一种光电信号传输方法，用于在光电传感器的发射端与接收端之间实现光电信号的有效传输，其特征在于，包括下述步骤：

10)使待发射的有效信号以电信号的形式与特定的载波信号相混合，然后经由所述发射端将混合后的电信号转化为相应的光信号并向外发射；

20)所述接收端将接收到的光信号转化为相应的电信号，然后对所述转化后的电信号进行筛选处理，以获得所需的有效信号。

2.根据权利要求1所述的光电信号传输方法，其特征在于，步骤10)中，通过叠加或进行乘法运算的方式而将所述有效信号与载波信号相混合。

3.根据权利要求1所述的光电信号传输方法，其特征在于，步骤20)中，所述筛选处理包括：将转化后的电信号与步骤10)中所采用的载波信号进行乘法运算，之后再进行滤波处理，最终得到所需的有效信号。

4.根据权利要求1所述的光电信号传输方法，其特征在于，所述载波信号为正弦波。

5.根据权利要求1所述的光电信号传输方法，其特征在于，所述发射端包括发光二极管，所述接收端包括光电二极管。

6.根据权利要求1所述的光电信号传输方法，其特征在于，所述有效信号包括直流信号。

7.一种光电传感器，包括发射端和接收端，其特征在于，所述光电传感器还包括：信号输入端、信号混合单元、信号筛选单元，其中

所述信号输入端以电信号的形式将待发射的有效信号及特定的载波信号输入至信号混合单元；

所述信号混合单元将所述有效信号与载波信号相混合，然后传送至所述发射端；

所述发射端将混合后的电信号转化为相应的光信号并向外发射；

所述接收端将接收到的光信号转化为相应的电信号，并传送至所述信号筛选单元；

所述信号筛选单元对由所述接收端传送来的电信号进行筛选处理，以获得所需的有效信号。

8.根据权利要求7所述的光电传感器，其特征在于，所述信号混合单元包括信号叠加模块或第一乘法运算模块，用以通过叠加或进行乘法运算的方式而将所述有效信号与载波信号相混合。

9.根据权利要求7所述的光电传感器，其特征在于，所述信号筛选单元包括第二乘法运算模块和滤波模块，经过所述接收端转化后的电信号在所述第二乘法运算模块中与所述特定的载波信号进行乘法运算，然后进入所述滤波模块进行滤波处理，以得到所需的有效信号。

10.根据权利要求7所述的光电传感器，其特征在于，所述发射端包括发光二极管，所述接收端包括光电二极管。

11.根据权利要求7所述的光电传感器，其特征在于，在所述信号混合单元和所述发射端之间设置有限流保护单元，用以限制进入所述发射端的电流峰值。

12.根据权利要求7所述的光电传感器，其特征在于，所述有效信号包括直流信号。

13.一种光电传感器，包括发射端和接收端，其特征在于，应用权利要求1-6中任意一项所述的光电信号传输方法而在所述发射端与接收端之间进行光电信号的发射和检测。

14.一种微电子加工设备，包括传动机构，其特征在于，在所述传动机构上设置有权利要求7-12中任意一项所述的光电传感器，用以对所述传动机构的运行及定位精度进行精确检测。