[发明专利]组合轴承和旋转设备

说明书

技术领域

本发明涉及具有极好润滑能力的高度可靠的组合轴承。本发明还涉及使用这种组合轴承的旋转设备。

背景技术

传统地，用于支撑旋转轴的组合轴承被用于旋转设备例如真空泵中。图8示出了组合轴承的一个示例。如图8中所示，组合轴承500具有两个或更多个相互直接(或在它们之间通过间隔件间接)连接到一起的滚动轴承501和503。所使用的滚动轴承的类型包括球轴承(例如径向推力球轴承或深沟球轴承)和滚动轴承。组合轴承500的润滑和冷却通过从组合轴承500的外侧表面提供润滑油来进行，如图8中箭头a1所示(例如，参考日本公开专利申请No.1997-88947)。

但是，因为润滑油是从滚动轴承501的外侧表面上供给的，如图8中所示，润滑油不能平滑地供应到滚动轴承501和503之间的内部空间内。所以，不能实现充分润滑。另外，与润滑油被供应到的滚动轴承501相比，较少量的润滑油供给到位于润滑油被供应的相反一侧的滚动轴承503上。所以，与滚动轴承501相比，滚动轴承503可能得不到充分润滑。为了同等润滑滚动轴承501和滚动轴承503，从滚动轴承501和503的两个外侧表面供应润滑油是可能的。但是，需要两条供给线路供给润滑油，因而增加了结构复杂性。

发明内容

本发明是考虑到上述缺点而研制出来的。因此，本发明的一个目的是提供一种能够实现多个滚动轴承的同等和充分润滑并且具有简单且紧凑的结构的高度可靠的组合轴承。本发明的另一目的是提供一种使用这种组合轴承的旋转设备。

本发明的一个方面是提供一种组合轴承，包括：相互接触并且设置于同一轴线上的第一滚动轴承和第二滚动轴承；和用于将润滑油引入形成于第一滚动轴承和第二滚动轴承之间的内部空间内的润滑油进口。润滑油进口被设置于第一滚动轴承的外圈和第二滚动轴承的外圈中的至少一个上。

根据如上所述的本发明，润滑油可以被直接供应到相邻的滚动轴承之间的内部空间内。因此，这些滚动轴承能够用润滑油很容易地、均匀地并且充分地润滑。另外，能够获得简单且紧凑的结构。

在本发明的优选方面中，润滑油进口是形成于第二滚动轴承的外圈的侧表面上的槽，且该侧表面与第一滚动轴承的外圈的侧表面接触。

根据如上所述的本发明，润滑油进口可以仅仅通过在滚动轴承的外圈的侧表面上设置槽而形成。因此，能够减少部件的数目。因此，能够实现简单并且紧凑的结构，并且能够降低生产成本。

在本发明的优选方面中，润滑油进口是分别形成于第一滚动轴承的外圈的侧表面上和第二滚动轴承的外圈的侧表面上的槽，且第一滚动轴承的侧表面和第二滚动轴承的侧表面相互接触。

根据如上所述的本发明，润滑油进口可以仅仅通过在滚动轴承的外圈的侧表面上设置槽而形成。因此，能够减少部件的数目。因此，可以实现简单且紧凑的结构，并且能够降低生产成本。

本发明的另一方面提供了一种组合轴承，包括：设置于同一轴线上的第一滚动轴承和第二滚动轴承；设置于第一滚动轴承和第二滚动轴承之间的外圈间隔件和内圈间隔件；和用于将润滑油引入形成于第一滚动轴承和第二滚动轴承之间的内部空间内的润滑油进口。该润滑油进口被设置于外圈间隔件上。

根据如上所述的本发明，润滑油可以被直接供应到相邻的滚动轴承之间的内部空间内。因此，这些滚动轴承能够用润滑油很容易地、均匀地并且充分地润滑。另外，能够获得简单且紧凑的结构。

在本发明的优选方面中，润滑油进口包括形成于外圈间隔件上的槽。

根据如上所述的本发明，润滑油进口可以仅仅通过在外圈间隔件上设置槽而容易地形成。

本发明的另一方面提供了一种旋转设备，包括：组合轴承；和由组合轴承支撑的旋转轴。

根据如上所述的本发明，提高了旋转设备的耐用性和可靠性，因为旋转设备使用了如上所述的组合轴承。

在本发明的优选方面中，旋转设备是真空泵。

根据如上所述的本发明，提高了真空泵的耐用性和可靠性，因为真空泵使用了如上所述的组合轴承。真空泵被广泛用于半导体制造装置。如果真空泵突然停止或在真空泵内发生任意其他故障，可能影响半导体制造装置的整体，并且可能造成严重损失。因此，在用于半导体制造装置的真空泵内优选使用根据本发明的高度耐用和可靠的组合轴承。

附图说明

图1是示出了使用组合轴承的真空泵的示例的示意性剖视侧视图；

图2是示出了构成真空泵的组合轴承的主要部件的放大示意性剖视图；

图3是示出了组合轴承的主要部件的放大剖视图；

图4是图3中的组合轴承从上面看的视图；