[发明专利]连杆驱动工件台系统无效
| 申请号： | 201010535266.8 | 申请日： | 2010-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN102466975A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 袁志扬;吴小传 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 连杆 驱动 工件 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种连杆驱动工件台系统，包括工件台，所述工件台通过气浮轴承设置在基台上；其特征在于：它还包括连杆机构，所述连杆机构的一端与所述的工件台活动连接，另一端与参照体活动连接；所述连杆机构至少一端还设置有驱动电机，所述驱动电机通过连杆机构带动工件台运动。
2.根据权利要求1所述的连杆驱动工件台系统，其特征在于：所述的连杆机构至少包括两根活动连接的连杆。
3.根据权利要求2所述的连杆驱动工件台系统，其特征在于：所述的连杆机构包括第一连杆和第二连杆，所述的第一连杆和第二连杆的活动连接处设置有驱动电机，所述驱动电机带动第一连杆和第二连杆运动。
4.根据权利要求1所述的连杆驱动工件台系统，其特征在于：它还包括辅助连杆机构，所述辅助连杆机构的一端通过夹紧块与所述的工件台连接，另一端与参照体活动连接，所述的夹紧块可夹紧或者松开辅助连杆机构。
5.根据权利要求3所述的连杆驱动工件台系统，其特征在于：所述辅助连杆机构至少包括两根活动连接的连杆。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010535266.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
