[发明专利]坩埚空烧装置无效
申请号: | 201010535470.X | 申请日: | 2010-11-04 |
公开(公告)号: | CN102053032A | 公开(公告)日: | 2011-05-11 |
发明(设计)人: | 平田泰士 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场制作所 |
主分类号: | G01N1/44 | 分类号: | G01N1/44 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 李雪春;武玉琴 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 坩埚 装置 | ||
1.一种坩埚空烧装置,其特征在于,包括坩埚空烧用的加热炉,该加热炉在内部具有水平移动通道,该水平移动通道的一端与坩埚的插入口连接,另一端与坩埚的导出口连接,从所述插入口插入的坩埚通过被下一个插入的在后的坩埚推着,向所述导出口移动,所述坩埚空烧装置还包括:
支承轨道部,以使相邻的坩埚的底部和开口部接触的方式,把沿水平横卧的多个坩埚并排支承成一列;以及
滑动执行机构,使由所述支承轨道部支承的最后面的坩埚向前方移动,从而使所述一列的全部坩埚沿该列方向移动,顺序从设置在所述支承轨道部前端的送出口送出坩埚,
所述支承轨道部的所述送出口与所述水平移动通道的插入口相接,所述支承轨道部与所述水平移动通道构成串联配置。
2.根据权利要求1所述的坩埚空烧装置,其特征在于,所述坩埚空烧装置还包括:
坩埚储料器,支承相互平行的多个所述支承轨道部;以及
移动机构,使所述坩埚储料器移动,使各所述支承轨道部的所述送出口位于与所述插入口连接的位置。
3.根据权利要求1或2所述的坩埚空烧装置,其特征在于,所述坩埚空烧装置还包括:
接住坩埚部,接住从所述加热炉的所述导出口导出的坩埚;以及
坩埚检测机构,检测从所述导出口导出坩埚的时刻以及被导出的所述坩埚是否在所述接住坩埚部上。
4.根据权利要求1或2所述的坩埚空烧装置,其特征在于,
所述滑动执行机构包括:导向部,与所述支承轨道部平行,设置在所述支承轨道部的侧方、下方或上方;以及加力件,由所述导向部引导进行滑动,
在所述加力件上设置有臂,该臂从间隙插入所述支承轨道部内,推所述最后面的坩埚,所述间隙设置在支承轨道部的侧方、下方或上方。
5.根据权利要求1或2所述的坩埚空烧装置,其特征在于,所述支承轨道部由一对平行的棒形构件构成,把该一对平行的棒形构件的分开距离设定成比坩埚的外径小,所述坩埚以一部分嵌入到所述一对平行的棒形构件之间的方式被支承。
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