[发明专利]微机电滤波器

权利要求书

1.一种微机电滤波器，其特征在于包括：

一第一基板；

一第二基板；

一输入电极，所述输入电极配置在所述第一基板上方；

一输出电极，所述输出电极配置在所述第二基板上方；

一第一悬挂式谐振器，所述第一悬挂式谐振器连接所述第一基板及所述第二基板；

一第二悬挂式谐振器，所述第二悬挂式谐振器连接所述第一基板及所述第二基板；

一压电谐振器，所述压电谐振器紧密地连结在所述第一悬挂式谐振器上方，所述压电谐振器的上电极具有一叉指形式图案，所述叉指形式图案两侧分别与所述输入电极、所述输出电极连接，而配置在所述压电谐振器的上电极下方依次为一第一压电材料层与一第一下电极；以及

一耦合梁，在所述第一悬挂式谐振器与所述第二悬挂式谐振器之间以所述耦合梁做耦合连接，所述耦合梁用于传递声波，并控制所述微机电滤波器的频宽。

2.根据权利要求1所述的微机电滤波器，其特征在于：所述第一基板与所述第二基板是一体成型。

3.根据权利要求1所述的微机电滤波器，其特征在于：所述输入电极与所述输出电极的材质为金属。

4.根据权利要求1所述的微机电滤波器，其特征在于：所述第二悬挂式谐振器的材质为硅或是绝缘层上有硅的半导体材料。

5.根据权利要求1所述的微机电滤波器，其特征在于：所述第一基板及所述第二基板的材质为硅或是绝缘层上有硅的半导体材料。

6.根据权利要求1所述的微机电滤波器，其特征在于：所述耦合梁的材质为硅或是绝缘层上有硅的半导体材料。

7.根据权利要求1所述的微机电滤波器，其特征在于：所述微机电滤波器还包括一第二压电材料层与一第二下电极，所述第二压电材料层配置在所述输入电极下方，所述第二下电极配置在所述第二压电材料层与所述第一基板之间。

8.根据权利要求1所述的微机电滤波器，其特征在于：所述微机电滤波器还包括一第三压电材料层与一第三下电极，所述第三压电材料层配置在所述输出电极下方，所述第三下电极配置在所述第三压电材料层与所述第二基板之间。

9.一种微机电滤波器，其特征在于包括：

一第一压电区域；

一第二压电区域；

一输入电极，所述输入电极配置在所述第一压电区域上方；

一输出电极，所述输出电极配置在所述第二压电区域上方；

一第一压电谐振器，所述第一压电谐振器包括：

一上电极具有一叉指形式图案，所述叉指形式图案与所述输入电极或所述输出电极连接；

一悬挂式压电层，配置在所述上电极的下方，所述悬挂式压电层连接所述第一压电区域及所述第二压电区域；以及

一第一下电极，配置在所述悬挂式压电层下方；

一第二压电谐振器，所述第二压电谐振器连接所述第一压电区域及所述第二压电区域；以及

一耦合梁，在所述悬挂式压电层与所述第二压电谐振器之间以所述耦合梁做耦合连接，所述耦合梁用于传递声波，并控制所述微机电滤波器的频宽。

10.根据权利要求9所述的微机电滤波器，其特征在于：所述输入电极与所述输出电极的材质为金属。

11.根据权利要求9所述的微机电滤波器，其特征在于：所述第二压电谐振器的材质为压电材料且不具有金属的材质。

12.根据权利要求9所述的微机电滤波器，其特征在于：所述耦合梁的材质为压电材料。

13.根据权利要求9所述的微机电滤波器，其特征在于：所述微机电滤波器还包括一第二下电极，所述第二下电极配置在所述第一压电区域下方，所述第二下电极与所述第一下电极连接。

14.根据权利要求9所述的微机电滤波器，其特征在于：所述微机电滤波器还包括一第三下电极，所述第三下电极配置在所述第二压电区域下方，所述第三下电极与所述第一下电极连接。