[发明专利]用于传输模式测量的偏轴板操纵装置及其技术

说明书

技术领域

本发明涉及用于在检查过程中、操纵薄板的支承结构和方法，尤其涉及用于在传输模式测量过程中、操纵薄的透明板的支承结构和方法。

背景技术

最近，主要由于液晶(LCD)电视的普遍以及被人们所接受，因而显著的注意力已聚焦在对于诸如玻璃板的透明基板中的缺陷的检测上。这样，该产业现在面临满足增大体积的需求的挑战，与此同时，严格遵循LCD传输模式的技术条件来操纵基板。此外，用在LCD产业中的透明板已增大尺寸，而与此同时，保持相同厚度或甚至变得更薄。因此，存在以下挑战：稳固地保持大且薄的透明板，从而可进行检查测量，而同时在考虑由用于保持透明板的结构所导致的误差条件下，仍能保持测量精度。

传输模式测量包括使光从一个平坦面通过透明板至相对的平坦面，且测量光通过时光的变化。传输模式测量可用于检测例如在透明板中的处理引起特征，例如杂质、厚度变化、线纹、条纹以及应力。

例如就进行应力测量来说，保持板的方式将影响测量，这是由于应力可能由保持结构以及板的形状的相互作用而引起。如果板完全平整，则当由保持结构保持在基本平坦的构造中时，其形状将不会改变，且由此，保持结构将不会影响应力测量。然而，透明板并不完全平整，反而它们包括一些形状差异(即使在显示器行业中，大多数很小)，例如，翘曲、弓形、凸形或凹形，这些形状差异在板与板之间都不一定相同。此外，这样的形状差异在板的不同区域具有各种程度。因此，当透明板在测量过程中由保持结构弄平时，板的形状改变，这会在传输模式测量中产生误差。例如，处于通常的休止状态的透明板包括应力分布，该应力分布影响通过板的光的透射率。当板被弄平时，由于在支承结构中，应力分布改变，从而还包括弄平板时支承结构所引起的应力。因此，影响板的应力测量的精度。希望的是，尽可能估计并去除由支承结构所因此的误差。然而，并不总是易于区分由支承结构引起的应力和透明板中自然产生的应力。

鉴于上文所述，需要一种检查方法和装置，该检查方法和装置能稳固地保持大且薄的透明基板，从而能尽可能地估计并去除易于被检测的支承结构引起的误差。

发明内容

本申请描述用于对于诸如薄的透明玻璃板之类的板进行传输模式测量的一种装置和技术，其中，便于对于各种单独获取的或与其它特征的各种组合获取的特征进行测量：稳固地保持板，从而可进行精确地测量；从与板中有关的特征中区分支承结构引起的误差；快速地进行完整的板测量；以及测量各种板的尺寸。

可稳固地保持薄板的装置的特征包括：使支承元件相对于板的轴线进行偏轴定向；支承结构的棒或其它的支承件沿倾斜于待测量的板的交叉和下拉轴线的方向延伸；压力/真空源联接于支承件，从而作用在板上；和/或即使并不一定需要，支承件的尺寸大于板的尺寸。由于支承件沿倾斜于板的主轴的方向延伸，因而支承件穿过板边缘，从而在任何给定时刻，尤其是在测量有关的处理引起特征的过程中，仅仅沿板边缘的非常短的部段未被支承。因此，稳固地保持该板。

装置的易于从有关的处理引起特征中区分支承引起误差的特征包括：支承结构构造成且设置成沿一定轴线引起测量误差，该轴线倾斜于处理引起特征在板中延伸的方向；和/或图像捕捉单元、成像装置的像素沿平行于板的轴线且倾斜于支承结构的轴线的轴线定向。处理引起特征通常沿形成板的方向延伸。在许多情形中，这些特征(例如，厚度变化、线纹、条纹、板中的突变点和杂质、以及应力)自身显然具有定向匹配，匹配拉伸透明板的定向，即沿向下拉伸方向。在其它情形中，一些特征自身显然可沿着与拉伸透明板垂直的方向，即交叉拉伸方向。因此，使支承结构定向成：其在测量中引起的误差沿相对于交叉拉伸轴线或向下拉伸轴线倾斜的轴线延伸，以便于从待测量的相关的处理引起特征中区分这些误差。

能加快处理的装置的特征包括：在其上可捕捉板的图像的观察区域的尺寸比待测量的板的尺寸大上一定量值，该量值大于或等于阻挡区域或无法成像区域的尺寸；可成像区域的尺寸大于无法成像区域的尺寸；支承件与板通过测量装置传输的方向形成约25度到约65度的角；和/或支承件的尺寸大于板的尺寸。因此，板可进行成像，而通过阻挡区域或无法成像区域的尺寸变位，板可再次进行成像。这便于利用少至两个覆盖图像来进行完整板测量，从而加快处理过程。