[发明专利]玻璃衬底及其退火方法

权利要求书

1.一种形成玻璃衬底的方法，包括以下步骤：

形成具有相对的大致平的表面和至少一个边缘的玻璃毛胚；

将所述玻璃毛胚涂敷二氧化硅-氧化铝纳米微粒，所述二氧化硅-氧化铝纳米微粒包括二氧化硅制成的内核和氧化铝制成的外壳；

将涂敷的玻璃毛胚退火以在所述玻璃毛胚周围形成二氧化硅-氧化铝的保形涂层；以及

抛光涂敷的玻璃毛胚以从其相对的大致平的表面去除所述二氧化硅-氧化铝的保形涂层。

2.根据权利要求1所述的方法，其中将所述玻璃毛胚涂敷二氧化硅-氧化铝纳米微粒的所述步骤包括将所述玻璃毛胚浸泡在包括所述二氧化硅-氧化铝纳米微粒的胶状悬浮液中。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述胶状悬浮液具有在约0.01重量百分比到0.30重量百分比二氧化硅-氧化铝纳米微粒之间的浓度。

4.根据权利要求2所述的方法，其中所述胶状悬浮液具有在约0.08重量百分比到0.10重量百分比二氧化硅-氧化铝纳米微粒之间的浓度。

5.根据权利要求1所述的方法，其中由于所述二氧化硅-氧化铝纳米微粒和所述玻璃毛胚之间的电荷差，所述二氧化硅-氧化铝纳米微粒粘附到所述玻璃毛胚。

6.根据权利要求1所述的方法，其中将所述玻璃毛胚涂敷二氧化硅-氧化铝纳米微粒的所述步骤包括在所述玻璃毛胚周围形成小于约1微米的二氧化硅-氧化铝纳米微粒的保形层。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述二氧化硅-氧化铝纳米微粒具有小于约50nm的平均直径。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述二氧化硅-氧化铝纳米微粒具有小于约20nm的平均直径。

9.根据权利要求1所述的方法，其中将涂敷的玻璃毛胚退火的所述步骤包括将涂敷的玻璃毛胚加热到涂敷的玻璃毛胚的玻璃化温度或其之上的温度。

10.根据权利要求9所述的方法，其中将涂敷的玻璃毛胚退火的所述步骤包括将涂敷的玻璃毛胚保持在涂敷的玻璃毛胚的玻璃化温度或其之上的温度约0.5到10小时之间。

11.根据权利要求1所述的方法，其中将涂敷的玻璃毛胚退火的所述步骤包括将第二涂敷的玻璃毛胚直接堆叠在涂敷的玻璃毛胚上，以及其中所述二氧化硅-氧化铝纳米微粒防止涂敷的玻璃毛胚熔化到所述第二涂敷的玻璃毛胚。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述第二涂敷的玻璃毛胚在涂敷的玻璃毛胚上施加的压力帮助使涂敷的玻璃毛胚的相对的大致平的表面之一变平坦。

13.根据权利要求1所述的方法，其中将涂敷的玻璃毛胚退火的所述步骤包括在涂敷的玻璃毛胚上堆叠重物以使涂敷的玻璃毛胚的相对的大致平的表面之一变平坦。

14.根据权利要求1所述的方法，其中抛光所述相对的大致平的表面的步骤包括从每个所述相对的大致平的表面去除约5到50微米的材料。

15.根据权利要求1所述的方法，其中在抛光所述相对的大致平的表面的所述步骤之后，所述二氧化硅-氧化铝的保形涂层沿着所述玻璃毛胚的至少一个边缘保留。

16.根据权利要求15所述的方法，其中沿着所述玻璃毛胚的至少一个边缘的所述二氧化硅-氧化铝的保形涂层穿透所述至少一个边缘中的一个或更多个裂纹。

17.根据权利要求1所述的方法，其中所述玻璃毛胚包括圆环，并且其中所述至少一个边缘包括所述圆环的内边缘和所述圆环的外边缘。

18.一种形成多个玻璃衬底的方法，包括以下步骤：

形成多个玻璃毛胚，每个玻璃毛胚具有相对的大致平的表面和至少一个边缘；

将所述多个玻璃毛胚涂敷二氧化硅-氧化铝纳米微粒，所述二氧化硅-氧化铝纳米微粒包括二氧化硅制成的内核和氧化铝制成的外壳；

将所述多个涂敷的玻璃毛胚彼此直接堆叠；

将堆叠的多个涂敷的玻璃毛胚退火以在每个玻璃毛胚周围形成二氧化硅-氧化铝的保形涂层；以及

抛光每个玻璃毛胚以从其相对的大致平的表面去除所述二氧化硅-氧化铝的保形涂层。