[发明专利]一种低温酸化缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种低温酸化缓蚀剂，其由10-50重量份的炔醇、10-50重量份的季胺盐和5-10重量份的杂环化合物组成，其中炔醇选自丁炔醇、己炔醇、丙炔醇、1，4-丁炔二醇、甲基戊炔醇、甲基丁炔醇、丁炔二醇、4-三甲基甲硅基-3-丁炔醇；季胺盐选自十二烷基二甲基苄基氯化铵、苄基二甲基十二烷基溴化铵、松香改性油酸基咪唑啉季铵盐、三苯环咪唑啉季铵盐、(4-乙烯基)-苄基氯化喹啉季铵盐、(4-乙烯基)-苄基氯化吡啶季铵盐、环氧丙烷基氯化喹啉、环氧丙烷基氯化吡啶、烯丙基氯化喹啉、烯丙基氯化吡啶；杂环化合物选自溴代十六烷基吡啶、氯代十六烷基吡啶、氯代十二烷基吡啶、溴代十四烷基吡啶。

2.如权利要求1所述的低温酸化缓蚀剂，其由10-40重量份的炔醇、20-50重量份的季胺盐和5-10重量份的杂环化合物组成，其中炔醇选自丙炔醇、丁炔醇、1，4-丁炔二醇、甲基丁炔醇和4-三甲基甲硅基-3-丁炔醇；季铵盐选自苄基二甲基十二烷基溴化铵、十二烷基二甲基苄基氯化铵和松香改性油酸基咪唑啉季铵盐；杂环化合物选自溴代十六烷基吡啶、氯代十二烷基吡啶和溴代十四烷基吡啶。

3.一种制备如权利要求1所述的低温酸化缓蚀剂的方法，其包括将所述比例的炔醇、季胺盐和杂环化合物混合溶解在有机醇溶液中，即得低温酸化缓蚀剂。

4.如权利要求3所述的方法，其中所述有机醇选自精甲醇，乙二醇，正丁醇和环己醇。