[发明专利]软磁铁氧体氮气窑阶梯式平衡气氛烧结工艺

权利要求书

1.软磁铁氧体氮气窑阶梯式平衡气氛烧结工艺，其特征在于：包括以下工艺流程，

1)将软磁铁氧体磁环坯件一次性成串密堆装入耐火材料匣钵并送入氮气窑内；

2)对氮气窑进行一阶段升温处理，将氮气窑内温度从室温升到600℃±30℃，并在氮气窑内温度达到300℃±15℃时以320～480L/分的速度持续送入空气，在氮气窑内温度达到600℃±30℃后保温5～6分钟；

3)对氮气窑进行二阶段升温处理，将氮气窑内温度从600℃±30℃升到1250±30℃，并持续以320～480L/分的速度送入空气，在氮气窑内温度达到1250±30℃后保温18～22分钟；

4)对氮气窑进行三阶段升温处理，将氮气窑内温度从1250℃±30℃升到1350±40℃，达到1350℃±40℃后进行保温处理；

5)遵循平衡气氛曲线要点对氮气窑进行分阶段冷却处理，冷却处理完成后形成软磁铁氧体磁环半成品；

6)将软磁铁氧体磁环半成品送出氮气窑，进行后续老化处理；

7)对老化处理后的软磁铁氧体磁环半成品进行分测和终检，合格者为成品。

2.根据权利要求1所述的软磁铁氧体氮气窑阶梯式平衡气氛烧结工艺，其特征在于：所述一阶段升温处理包括以下几个阶段：

1)从室温到200℃±10℃，以2.6～3.0℃/分速度升温；

2)从200℃±10℃到600℃±30℃，以1.3～1.5℃/分速度升温。

3.根据权利要求1所述的软磁铁氧体氮气窑阶梯式平衡气氛烧结工艺，其特征在于：所述二阶段升温处理包括以下几个阶段：

1)从600℃±30℃到900℃±30℃，以2.45～2.75℃/分速度升温；

2)从900℃±30℃到1250±30℃，以1.60～1.75℃/分速度升温；

4.根据权利要求1所述的软磁铁氧体氮气窑阶梯式平衡气氛烧结工艺，其特征在于：所述三阶段升温处理以0.9～1.1℃/分速度升温，达到1350℃±40℃后保温处理时间为5～6小时，氮气窑内氧分压从8％～5％渐变。

5.根据权利要求1所述的软磁铁氧体氮气窑阶梯式平衡气氛烧结工艺，其特征在于：对氮气窑进行分阶段冷却处理在氮气窑内温度达到1250℃±5℃、1200℃±5℃、1180℃±5℃、1120℃±5℃、1090℃±5℃、1060℃±5℃时均保温4～6分钟。