[发明专利]基板搬运装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种搬运装置，特别是涉及一种关于基板的搬运装置。

背景技术

本发明所指「基板搬运装置」，指专用以导送位移板状料件(如玻璃基板)以达到预定路径机械式搬运功能的装置设备。

基板搬运装置结构设计上，其型态通常依据基板料件所要输送搬运的路径型态而有所不同，当所欲输送搬运的路径型态较为多元复杂时，基板搬运装置的结构就会相对因为功能诉求增加而复杂化；然，基板搬运装置结构设计上，其基板料件的属性更是必须特别考虑的一个环节，以玻璃基板而言，因其多数应用于作为显示面板之用，故表面可容许的瑕疵度必须掌控至相当微小状态，而弯曲形变的幅度更必须掌控至最小状态，但玻璃基板随着面积规格的扩大，其搬运过程中欲将其瑕疵不良率精确管控于容许范围内，相对越显困难。

有鉴于此，发明人本于多年从事相关产品的制造开发与设计经验，针对上述的目标，详加设计与审慎评估后，终得一确具实用性的本发明。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种基板搬运装置，能够解决搬运动作模式单一、基板平整精度易受搬运动作影响的问题。

为解决上述问题，本发明一种基板搬运装置，借以导送基板位移以达到搬运的目的；该基板搬运装置包括：一轨道，呈一水平向延伸设置型态；一可旋转升降座，组设于该轨道上，该可旋转升降座由下至上包括一滑动组配部、一旋转部以及一升降部，其中该滑动组配部组合于该轨道上，使该可旋转升降座能够沿着该轨道的延伸型态位移；一气浮式载台，呈可平移进退状态组设于该可旋转升降座的升降部上，该气浮式载台的承载面上设置有多数平行间隔排列的气浮箱体，各该气浮箱体之间相对形成有笔直且横向穿通该承载面相对二侧的内凹通道；一平移式夹持导动架，呈可平移进退状态设置于该气浮式载台的承载面上，且该平移式夹持导动架的进退方向与气浮式载台一致，同时该平移式夹持导动架包括有复数个间隔设置的基板夹爪，所述基板夹爪呈可开合状态，且使各该基板夹爪随着平移式夹持导动架平移进退时，容置于该气浮式载台与之相对位的内凹通道中；一可升降平移式撑持架，呈可平移进退状态以及可升降状态设置于该气浮式载台的承载面上，且该可升降平移式撑持架的进退方向与气浮式载台一致，同时该可升降平移式撑持架包括有复数个间隔设置且呈凸伸型态的基板撑持架部，使各该基板撑持架部随着可升降平移式撑持架平移进退时，容置于该气浮式载台与之相对位的内凹通道中，且其中，所述基板撑持架部的位置，与该平移式夹持导动架所设基板夹爪的位置相互错开，同时所述基板撑持架部于上升时，使其高于该气浮箱体顶面。

优选地，其中所述基板为玻璃基板。

优选地，其中该气浮式载台的承载面二侧设置有限位轮组，借以对导送的基板产生限位作用。

优选地，其中该基板搬运装置还包括设置于该轨道其中一侧间隔处的多数基板容置匣，以及设置于该轨道另一侧间隔处的一基板转运匣。

优选地，其中该平移式夹持导动架所设基板夹爪还组配有基板传感器，借以感应该基板夹爪夹持基板的深度状态，当该基板夹爪的夹持深度达1公分时，能够透过该基板传感器加以感应，以使基板夹爪的位移动作停止；且各该基板夹爪能够各自伸缩动作，以因应基板的角度误差状态。

采用本发明的创新独特设计，使本发明对照先前技术而言，大致可达到如下优点：所述平移式夹持导动架与可升降平移式撑持架二者于执行基板搬运导送作业流程时，能够依据基板容置机构状态的不同选择同步或单一平移动作模式，而能灵活因应不同的基板容置型态，同时该可升降平移式撑持架的设计能够上升将基板整体均匀捧住撑持，而能达到确保基板平整精度不受搬运动作所影响的实用进步性。

附图说明

图1是本发明基板搬运装置较佳实施例的立体图。

图2是图1的局部放大图。

图3是本发明的基板夹爪部位立体放大图。

图4是本发明的基板夹爪开合动作状态示意图。

图5是本发明的基板置于该气浮式载台承载面上的状态立体图。

图6是承接图5，该可升降平移式撑持架上升将基板捧起的状态示意图。

图7是本发明的搬运动作状态图一。

图8是本发明的搬运动作状态图二。

图9是本发明的搬运动作状态图三。

图10是本发明的搬运动作状态图四。

图11是本发明的基板夹爪组配有基板传感器的实施例图。

图12是本发明的各该基板夹爪能够各自伸缩动作以因应基板角度误差的实施状态图。

具体实施方式