[发明专利]物品输送装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于输送在LCD(Liquid Crystal Display：液晶显示器)等FPD(Flat Panel Display：平板显示器)面板中使用的玻璃基板等物品的物品输送装置。

背景技术

在半导体工厂或者LCD工厂中存在用于处理在半导体或者LCD等中使用的物品的处理装置。例如，在LCD工厂中存在用于对在LCD中使用的玻璃基板进行蚀刻或清洗等的玻璃基板处理装置。

在LCD工厂中，玻璃基板被保管于自动化仓库，每当对玻璃基板进行处理时，利用堆垛起重机(stacker crane)将玻璃基板从自动化仓库出库至物品交接工作台(station)。出库后的玻璃基板由物品输送装置自动输送至玻璃基板处理装置。然后，利用玻璃基板处理装置对玻璃基板实施预定的处理，然后再次利用物品输送装置将玻璃基板输送至物品交接工作台，并再次利用堆垛起重机将玻璃基板入库至自动化仓库。

以往，公知有使这种玻璃基板的保管和处理一体化的高效的自动化仓库系统(专利文献1)。该现有的自动化仓库系统将玻璃基板的处理装置设置在收纳玻璃基板的货架(rack)的背面，进行玻璃基板的出库和入库。此时，如上所述，玻璃基板由堆垛起重机输送至物品交接工作台，然后由物品输送装置自动输送至基板处理装置。

此处，对用于输送玻璃基板等物品的第一现有的物品输送装置进行说明。第一现有的物品输送装置是一片一片地输送玻璃基板的所谓的单片式的物品输送装置。图16是第一现有的物品输送装置400的俯视图。

如图16所示，第一现有的物品输送装置400配置在堆垛起重机STK与玻璃基板处理装置EQ之间。堆垛起重机STK沿着轨道行驶，并与物品输送装置400之间进行物品的交接。

如图16所示，第一现有的物品输送装置400具备第一物品交接工作台440、第二物品交接工作台450、供给端部460、排出端部470、第一方向转换机480、第二方向转换机490以及输送带410。

在第一物品交接工作台440载置有用于收纳从自动化仓库搬出的玻璃基板的第一盒(cassette)441。在第一盒441中以预定的间隔呈水平多层状地容纳有处理前的多片玻璃基板。第一盒441由堆垛起重机STK从自动化仓库出库。

在第二物品交接工作台450载置有用于收纳由玻璃基板处理装置EQ处理后的玻璃基板的第二盒451。在第二盒451中以预定的间隔呈水平多层状地容纳处理后的玻璃基板。收纳有处理后的玻璃基板的第二盒451此后由堆垛起重机STK入库至自动化仓库。

在供给端部460载置有即将投入玻璃基板处理装置EQ之前的玻璃基板。玻璃基板从供给端部460一片一片地被供给至玻璃基板处理装置EQ。

由玻璃基板处理装置EQ处理后的玻璃基板被排出至排出端部470。处理后的玻璃基板在到被移载至输送带410为止的期间内都被载置于排出端部470。

第一方向转换机480将从第一物品交接工作台440接收到的处理前的玻璃基板移载至输送带410。并且，第一方向转换机480将从排出端部470接收到的处理后的玻璃基板移载至输送带410。此时，在第一方向转换机中，处理前或者处理后的玻璃基板的输送方向被转换。

第二方向转换机490将处理前的基板从输送带410移载至供给端部460。并且，第二方向转换机490将处理后的玻璃基板从输送带410移载至第二物品交接工作台450。此时，在第二方向转换机490中，处理前和处理后的玻璃基板的输送方向被转换。

输送带410是仅朝一个方向自动输送处理前和处理后的玻璃基板的驱动辊式输送带。处理前或者处理后的玻璃基板由输送带410从第一方向转换机480一片一片地输送至第二方向转换机490。

其次，使用图16对输送玻璃基板时的第一现有的物品输送装置400的动作进行说明。另外，图16中的空白箭头表示处理前的玻璃基板所被输送的装载输送路径R41，黑箭头表示处理后的玻璃基板所被输送的卸载输送路径R42。

如图16所示，在装载输送路径R41中，处理前的玻璃基板被从载置于第一物品交接工作台440的第一盒441移载至第一方向转换机480。进而，在由输送带410输送至第二方向转换机490之后被输送至供给端部460。

并且，在卸载输送路径R42中，处理后的玻璃基板被从排出端部470移载至第一方向转换机480，并由输送带410输送至第二方向转换机490。进而被收纳在载置于第二物品交接工作台450的第二盒451中。