[发明专利]压电元件、压电致动器、液体喷射头及液体喷射装置

权利要求书

1.一种压电元件，包括：

第1电极；

与上述第1电极相对而配置的第2电极；以及

配置于上述第1电极与上述第2电极之间的压电体层，

其中，上述第1电极具有：第1导电层；与上述第1导电层接触而设置的第1中间层；与上述第1中间层接触而设置的第2中间层；以及与上述第2中间层及上述压电体层接触而设置的第2导电层；

上述第1导电层包含从下述组选择的一种金属或含有从该组选择的至少一种金属的合金，该组包括Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Ag及Au；

上述第1中间层包含氮化合物；

上述第2中间层包含从下述组选择的一种金属或从该组选择的至少两种金属的合金，该组包括Ti、Zr、W、Ta及Al；

上述第2导电层包含导电性氧化物。

2.权利要求1的压电元件，其中，

上述第1导电层包含从下述组选择的一种金属或从该组选择的至少两种金属的合金，该组包括Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Ag及Au。

3.权利要求1的压电元件，其中，

上述第1中间层包含含有从下述组选择的至少一种的氮化合物，该组包括Ti、Al、Ta、W及Si。

4.权利要求1的压电元件，其中，

上述第2导电层包含含有从下述组选择的至少一种的导电性氧化物，该组包括La、Sr、Ca、In、Ni、Ru及Sn。

5.一种压电致动器，具有：

权利要求1～4中的任意一项所述的压电元件；

与上述第1导电层接触而设置的第3中间层；以及

与上述第3中间层接触而设置的基板；

其中，通过上述压电元件的变位，上述基板进行变位。

6.一种液体喷射头，包括权利要求5所述的压电致动器。

7.一种液体喷射装置，包括权利要求6所述的液体喷射头。