[发明专利]带有出口气体收集器的多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉，包括炉体，夹套，底盘，支座，多对电极，带有石墨头的硅芯，混合气进气管及进气喷嘴，出气管及冷却系统；其特征是炉内顶端设置有出口气体收集器，底盘中心设置有出气管，出气管与出口气体收集器连通。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征在于出口气体收集器上设置有两根垂直连通的主接管；其中主接管I(19)一端与设置在底盘中心的出气管连通，另一端与主接管II(20)的中心位置垂直连通；主接管II上连接有若干根侧接管(21)，侧接管与主接管II垂直连通；侧接管和主接管II向下的一面即面向底盘的一面均匀设置有若干小孔(22)。

3.根据权利要求2所述的多晶硅还原炉，其特征在于主接管II(20)和若干根侧接管(21)与炉体(1)内壁连接。

4.根据权利要求3所述的多晶硅还原炉，其特征在于主接管II 20和侧接管21通过搭接板(24)及螺栓(25)与炉体(1)内壁连接。

5.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉，其特征在于多对电极分圈正负交错均匀地布置在底盘上，与电极连接的带有石墨头的硅芯顶部两两搭接，电极设置为12对或15对或18对或24对或36对；混合气进气管上连接若干喷嘴，喷嘴均匀分布在底盘上。