[发明专利]用于基板定位和检测的偏移校正方法和装置

权利要求书

1.一种计算处理室内的夹头的处理中心的方法，该方法包括：

利用斜角检测模块捕获处理过的基板边沿的图像；

测量从该处理过的基板的边沿的一组距离以得到干涉条纹，该组距离是在一组角度上测量的；

生成离心曲线，该离心曲线为该组距离相对于该组角度的图形形式；及

对该离心曲线应用曲线拟合方程以计算该处理中心。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括：

从一组离心曲线中选择该离心曲线；及

生成该组离心曲线以得到一组干涉条纹。

3.根据权利要求1所述的方法，还包括生成正弦曲线作为该离心曲线。

4.根据权利要求1所述的方法，还包括使用来自傅立叶变换的傅立叶级数方程作为该曲线拟合方程。

5.根据权利要求1所述的方法，还包括使用对该正弦方程的最小方差拟合作为该曲线拟合方程。

6.根据权利要求1所述的方法，还包括将该处理中心的坐标教导给该处理系统的机械手臂。

7.根据权利要求1所述的方法，还包括该处理后的基板包括折射薄膜层。

8.根据权利要求1所述的方法，还包括：

在该斜角检测模块包括照相机；

将该照相机连接于照相机支架；

配置该照相机支架，使该照相机可水平旋转180度，从而允许该照相机可以捕获该处理后的基板的图像；

将光学罩连接于该照相机；

配置该光学罩为可转动的，从而使光线朝向该处理后的基板；

将基板夹头连接至旋转马达，从而使该处理后的基板旋转，以允许该照相机捕获该处理后的基板边沿的该图像；及

使用背光装置为该基板提供光照，从而使该照相机能捕获该图像，该图像显示该处理后的基板和背景间的对比。

9.一种确定处理室内夹头的处理中心的图像处理方法，该方法包括：

利用斜角检测模块捕获处理过的基板的图像；

过滤该图像以去除该图像的噪声并突出该处理过的基板的边沿；

测量从该处理过的基板的边沿的一组空隙以得到干涉条纹，该组空隙是在一组角度上测量的；

生成离心曲线，该离心曲线为该组空隙相对于该组角度的图形形式；及

对该离心曲线应用曲线拟合方程以计算该处理中心。

10.根据权利要求9所述的方法，还包括将该图像转换为灰度图像。

11.根据权利要求9所述的方法，还包括在该过滤中采用平滑和简化技术。

12.根据权利要求9所述的方法，还包括在该过滤中采用阈值化技术。

13.根据权利要求9所述的方法，还包括生成正弦曲线作为该离心曲线。

14.根据权利要求9所述的方法，还包括使用来自傅立叶变换的傅立叶级数方程作为该曲线拟合方程。

15.根据权利要求9所述的方法，还包括使用对正弦方程的最小方差拟合作为该曲线拟合方程。

16.根据权利要求9所述的方法，还包括将该处理中心的坐标教导给该处理系统的机械手臂。

17.根据权利要求9所述的方法，还包括该处理后的基板包括折射薄膜层。

18.根据权利要求9所述的方法，还包括：

从一组离心曲线中选择该离心曲线；及

生成该组离心曲线以得到一组干涉条纹。

19.根据权利要求9所述的方法，还包括：

在该斜角检测模块包括照相机；

将该照相机连接于照相机支架；

配置该照相机支架，使该照相机水平旋转180度，从而允许该照相机可以捕获该处理后的基板的图像；

将光学罩连接于该照相机；

配置该光学罩为可转动的，从而使光线朝向该处理后的基板；

将基板夹头与旋转马达相连，从而使得该处理过的基板可以旋转，从而使该照相机可以捕获该处理后的基板边沿的图像；及

使用背光装置为该基板提供光照，从而使该照相机能捕获该图像，该图像显示该处理后的基板和背景间的对比。