[发明专利]一种晶圆级封装微球自动收集及供球循环设备

权利要求书

1.一种晶圆级封装微球自动收集及供球循环设备，其特征在于，该机构包括微球收集装置及供球循环装置，所述的供球循环装置设在微球收集装置的上部。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆级封装微球自动收集及供球循环设备，其特征在于，所述的微球收集装置包括X向运动机构、Y向运动机构、Z向运动机构、植球网板及直线导轨，所述的Y向运动机构设于植球网板的一侧，所述的X向运动机构一端架设在Y向运动机构上，另一端嵌套在直线导轨上，所述的直线导轨设于植球网板的另一侧，与Y向运动机构水平，所述的Z向运动机构设于X向运动机构上部。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆级封装微球自动收集及供球循环设备，其特征在于，所述的供球循环装置固定于Z向运动机构的滑块上，可以上下运动。

4.根据权利要求1或3所述的一种晶圆级封装微球自动收集及供球循环设备，其特征在于，所述的供球循环装置包括漏球用钢带、供球瓶、微球收集瓶、漏球用气缸、植球旋转机构、植球头、吸球机构和供球导管，所述的供球瓶设在装置的顶部，所述的微球收集瓶设在供球瓶的一侧，所述的漏球用汽缸有两个，经漏球用钢带连接在供球瓶的左下方和右下方，所述的植球旋转机构设在装置中间的侧部，所述的供球导管顶端与供球瓶连接，底端与植球头连接，所述的吸球机构设在装置的底部。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆级封装微球自动收集及供球循环设备，其特征在于，所述的漏球用钢带上设置漏球孔。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆级封装微球自动收集及供球循环设备，其特征在于，所述的微球收集瓶与吸球机构经气管连接。